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2023.05.15出刊 |
焦點報導
打造淨零時代競爭力 粉塵終結器守護半導體良率
工研院「粉塵終結器」透過微粒捕集系統，以水霧噴灑及雙層旋風分離沉降方式，讓PM5粉塵去除率達90%以上，平均效率增加50%，符合半導體業界製程上的需求。
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