工
研院開發全濕式面板級封裝設備,突破玻璃穿孔(Through Glass Via;TGV)基板高深寬比製程的限制,成功將12吋填孔深寬比從AR 10提升至AR 15,運用高速掃描雷射與蝕刻技術,使鑽孔速度提升10倍,並確保百萬孔缺陷率低於1%,良率高達99%以上,大幅降低成本。
另外,更以全濕式金屬化填孔取代PVD鍍膜,使生產成本節省50%,並提供完整鑽孔、填銅、研磨與檢測等解決方案,不僅強化臺灣設備商的研發與面板級封裝能力,降低對進口設備的依賴,更能擴展至半導體封裝、材料與設備產業,推動技術升級,提升全球市場競爭力。
#全濕式面板級封裝設備 #半導體產業 #機械與機電系統研究所
【
更多說明就讓影片告訴您~】