首頁 > 機械工業雜誌 > 歷史雜誌 當期雜誌 歷史雜誌 訂購雜誌 機器人與工具機叢書 光電半導體產業設備技術專輯 2020年6月號 447期 由於未來十年台灣電子設備產業的發展前景持續看好,「半導體」、「次世代顯示」、「AI人工智慧與智慧製造系統」、「智慧檢測設備」、「設備關鍵零組件」這五大主軸將是台灣電子設備產業發展的重點方向,也是國內產業創新關鍵。近年來工研院機械所架構於厚實的技術能量,整合產、學、研跨領域,將扮演領頭羊的角色,結合台灣的精密機械、產業設備加工與相關零組件等產業一起進入高科技電子設備的領域,帶領台灣智慧機械產業轉型與升級。 精選雜誌影音 多重物理耦合技術_半導體鍍膜製程模擬分析的核心 良率、成本為進入商業量產市場之關鍵,目前最關鍵的製程為巨量轉移,其精度、穩定性之要求對設備而言是極大之挑戰,本期機械工業雜誌於「光電半導體產業設備技術專輯」中,介紹「多重物理耦合技術」,讓晶圓製程透明化,讓翹曲的晶圓告訴你應力的大小! 精彩內容 編者的話 | 固本研發未來高科技張禎元 領袖觀點 | 結合光電產業優勢,科技工業製造再升級黃稟洲 產業脈動 | 光電半導體新應用及其設備產業發展趨勢邱琬雯 光電半導體產業設備技術專輯主編前言王慶鈞 複合薄膜製程及多層膜特性分析技術林士欽、賴識翔、梁沐旺、王慶鈞、唐謙仁、田春林 長壽命色溫可調變OLED 照明技術 董福慶、賴識翔、王亘黼 薄膜光學特性之分析模組技術賴識翔、鄭皓蓬、林義鈞、董福慶、唐謙仁、韓建遠 | 最優良文章 | 晶圓翹曲之應力分析技術陳冠州、黃智勇、王慶鈞、李昌駿、劉彥禹、張詠瑄 半導體研磨設備之大尺寸氣靜壓主軸技術陳世昌 半導體多片晶圓微波退火技術開發黃昆平、吳采亮、黃冠中 大面積石墨烯電極成長技術季宇文、胡恩蘭、黃昆平 黏晶用精密定位平台技術與應用黃振榮、陳孟群、李侃峰、曾奕凱 工業基礎專欄 | 工具機熱穩定人工智慧學習技術李坤穎、謝秉澂 工業基礎專欄 | 電動巴士動力系統之能耗分析楊正平 閱讀本期雜誌全文
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