數位製造與檢測技術專輯

2021年10月號 463期

隨著智慧製造發展日趨重要,產品精密度也大幅增加,全球檢測、檢驗與認證市場規模在2300億美元,以半導體產業為例,檢測設備產值約佔整體半導體設備產值之17%,隨著製程精密化與智慧化發展,檢測技術與設備之產值也將隨之增加。本期專輯期望能從數位製造與檢測技術中,挑選突破點與建立技術制高點,並與讀者們一同分享與交流,同時也希望能引起產學研各界之共鳴,大家一起投入發展,讓臺灣數位製造與檢測技術能持續進步與應用,帶動台灣製造業之發展。

精選雜誌影音

半導體製程良率再進化 電漿量測技術說給你聽

良率、成本為進入商業量產市場之關鍵,電漿製程是現今半導體元件製造過程中極為重要的一環,隨著元件尺寸不斷縮小,使用材料多元化,檢測技術日顯重要,電漿量測技術如何減少不良率產生?

精彩內容

編者的話 | 《關鍵報告》與《我從太空考古》連豊力
技術專輯主編前言 | 數位製造與檢測技術專輯主編前言黃萌祺
領袖觀點 | 欲數位轉型成功,不可不知的三個重點王右文、劉昀昇、陳重榮
產業脈動 | 製造業大趨勢下的智慧機械需求與發展契機熊治民
小型化被動元件電鍍設備數位模擬與實際驗證林冠廷、黃萌祺、高端環
12 吋晶圓接合模組熱固耦合模擬與驗證蘇濬賢、蘇志杰、王裕銘
雙螺桿膨脹機流體力學分析曹家誠、賴楷元、葉哲瑋、林文凱、Savas Yavuzkurt、劉耀先
先進控制技術應用在造紙生產製程徐振凱、鄭儀誠
電漿量測技術張家豪、劉志宏
大氣電漿精密鏡面拋光檢測技術張奕威、Abraham Mario Tapilouw、陳俊賢
化學機械研磨製程機上量測技術卓嘉弘、張奕威、黃戴廷
工具機幾何誤差量測於智慧製造之應用林明賢、謝宗翰
數位計量資訊交換發展-以工具機旋轉軸角度定位誤差補償為例徐凡媐、陳智榮、吳相儒、張明倫、吳雅菁、謝宗翰
主軸熱伸長即時檢測模組技術陳建文
繞射式深度感測元件之基材熱效應模擬分析 張高德