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2026.04.15出刊 |
焦點報導
【Touch Taiwan直擊】量測效率翻10倍！工研院「晶圓式電漿感測系統」助攻晶片良率，產線監測零中斷！
工研院研發「晶圓式電漿感測系統」，就像是半導體生產的智慧感測器，可在不中斷產線下即時監測電漿均勻度，將19個感測器裝進薄薄的12吋晶圓裡，生產時不用停機就能即時回傳數據，量測效率速度比國外大廠快10倍，提升製程穩定性與晶片良率。
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