組込み型ウェハ搬送ロボット 2026/09/29

簡介

これまでウェハ搬送ロボットは、装置への統合時に空間利用効率の低さ、装置の大型化、メンテナンスのしにくさ、動作安定性の制約、電磁干渉による精度低下など、様々な課題に直面していた。半導体業界の高度化するニーズに対応するため、ウェハ搬送ロボットにはより高い性能要求が求められている。

技術優勢及特色

組込み型設計

• 電気制御コンポーネントとロボット本体を一体化。
• 高い空間利用率、優れたメンテナンス性、電磁干渉なし。

高速・低振動制御技術

• 毎時250枚のウェハを搬送可能な高速制御を実現。
• 低振動制御により、振動値は0.3G未満。

振動監視機能

• フォーク部分に埋め込み型振動センサーを搭載し、振動値をリアルタイムで監視。
• 柔軟な動作経路の設計と制御が可能。

產業應用及商機

• 可應用產業
• 半導体産業、LED産業、ディスプレイ（パネル）産業。
• 應用實例
• 國內で有名な自動化設備サプライヤーに技術移転を行い、共同で高速・低振動制御ウェハ搬送ロボットを開発。組込み型制御システムを採用し、電気制御部とロボットを一体化することで、ウェハ搬送装置への統合時の空間利用効率を大幅に向上させ、メンテナンスの難しさや電磁干渉といった課題を解決。これにより企業の生産能力向上に貢献した。