半導体排ガス処理装置予兆プラットフォーム 2026/09/29

簡介

半導体製造プロセスでは、多くの粘性のある有害副生成物（粉塵）が発生し、排ガス処理システムを通じてプロセスチャンバーから排出される。但し、この粘性粉塵は真空ポンプの摩耗や詰まりを引き起こし、チャンバー内の真空度が不足することでウェハの汚染や廃棄といった重大な損失につながる。本予兆検知プラットフォームは、排ガス処理システムを監視・管理することで、装置の故障や労働災害の発生を効果的に減少させることができる。

技術優勢及特色

各メーカー間の通信制限を突破

• 世界の主要メーカー設備の通信標準に対応可能。
• 運転パラメータと状態を統合プラットフォームに集約し、全設備を監視。

潜在異常アラートシステム

• 排ガス処理装置の運転数値が基準を超えた場合、即時通知。
• 振動分析を用いて真空ポンプの健康状態を診断し、故障診断の正確率は85%以上。

健康状態予測とメンテナンスの最適化

• 設備の健康状態の劣化傾向や残り寿命を予測し、誤差は10%未満（業界平均は約20%）。
• 最適なメンテナンススケジュールを提案し、設備の寿命を50%以上延長。

產業應用及商機

• 可應用產業
• 各種の半導体排気処理装置（ターボポンプ、ドライ真空ポンプ、スクラバーなど）。
• 應用實例
• この技術はすでにシステムインテグレーターを通じて国内の複数の半導体リーディング企業で導入されており、装置の使用リサイクルを50％向上させ、年間の配管清掃回数を58%削減している。
• 国内の主要な半導体装置メンテナンス企業を支援し、装置メンテナンス後のFQC品質標準化検査プロセスを構築。統一された振動基準を使い、メンテナンス後の設備が国際的な品質基準を満たすようになり、メンテナンス速度を50%向上させた。この技術はすでに台湾及び日本の工場で活用されている。