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研究開発

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2026.09.29セミコンダクターとグリーン製造設備分野

プラズマシミュレーション・計測技術

ナノデバイスの薄膜プラズマプロセスにおいて、イオンエネルギーとフラックス密度は、エッチングの異方性、成膜の緻密性、プロセス速度、及び均一性に大きく影響する。しかし、現在はリアルタイム計測・マルチフィジックス連成シミュレーションが十分ではなく、パラメータ最適化が困難である。本技術は、ウェハ型プラズマセンシング及び診断技術により、非効率なオフライン分析に代わって重要パラメータをリアルタイムで把握し、装置検証を加速することで、先端プロセスの量産安定性と歩留まりを大幅に向上させる。

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2026.09.29セミコンダクターとグリーン製造設備分野

プラズマプロセス向けキーモジュール及び装置技術

プラズマモジュールは、半導体製造装置の中核を担うが、長らく日米の大手メーカーに依存しており、現在産業界の重要な技術課題の一つとなっている。本技術は、プラズマ成膜及びエッチングプロセスでのプラズマ密度・均一性・安定性の制御技術に注力し、成膜速度及び歩留まりの向上を図る。

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2026.09.29スマートファクトリー分野

没入型インタラクティブコンテンツ生成技術

従来の 2D ビデオ会議では、装置内部の稼働状況やプロセスパラメータといった現場のリアルな状態を再現することが難しい。そのため、遠隔での異常対応作業に多くの時間と手間がかかり、結果として維持管理コストが膨らんでしまう。また、精密切削の異常判定は、ベテラン技術者の経験に大きく依存しており、人手不足や技術継承の課題により、人材育成には長い年月が必要になる。さらに、従来の監視・統合システムによる静的しきい値の監視方法は誤報を招きやすく、データ標準規格がないため、異なるメーカーの機械の連携や、生産ラインの組み替えが、現場の大きなボトルネックとなっている。

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2026.09.29スマートファクトリー分野

制振ダンパー技術

工作機械の加工振動は、高周波と低周波に分類される。高周波振動は主軸回転速度の調整により回避可能が、低周波振動の多くは構造の固有振動により励起され、加工面にびびりマークを残しやすく、後工程で手作業による再研磨が必要となる。本技術は相対運動により生じる抵抗を利用し、低周波振動を抑制する。構造設計の変更を伴う従来手法と比較し、より迅速且つ効果的な改善を提供する。

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2026.09.29スマートファクトリー分野

AI-WaJe™ AI最適化による高反応性廃タイヤウォータージェット処理技術

毎年、世界では約 2,000 万トンの廃タイヤが発生している。廃タイヤは成分が複雑なため、リサイクルや再利用が非常に難しい。従来の廃タイヤ再生プロセスで生成されるゴム粉末は、活性が 25% 未満で加工性能に限界があり、少量しか添加できない。そのため、現行の技術では、2030 年までにタイヤ製造での再生材料 40% 導入という目標の達成を困難にしている。

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2026.09.29スマートファクトリー分野

VMX SMBスマートゲートウェイ

多くの企業が、デジタルトランスフォーメーションの推進において、戦略と実行の両面で課題に直面している。その背景には、設備のブランド混在、通信プロトコルの不統一、そして旧型機械のデータ活用が困難な現状である。従来の手作業によるレポート作成は、時間がかかりミスが起こりやすいだけでなく、生産情報の遅れを招く。その結果、管理者はリアルタイムでの稼働率の把握や、ダウンタイムの主な原因の正確な診断ができなくなり、情報の孤立化が生じ、生産効率の向上や経営判断を著しく阻害する。

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2026.09.29スマートファクトリー分野

体積空間精度ソリューション

現在、台湾の 5 軸加工機メーカーは海外向けOEM 受注が主流であり、組立時の測定は機体全体の空間幾何誤差にとどまるため、体積空間精度のコアとなる誤差要因や発生箇所および原因の解析が困難である。国内メーカーは主要技術を把握できていないため、長期にわたりOEM 生産モデルに留まっており、利益率の低迷や国際市場への展開が大きな課題となっている。

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2026.09.29スマートファクトリー分野

5軸マシニングセンタ用コントローラ

タービンブレード等の複雑な曲面形状部品を高精度に加工するためには、5 軸同期制御に対応したハイエンドコントローラが必要である。これまで台湾では、長年にわたり海外の大手メーカーに依存している。そのため、高価格、長納期、さらには厳しい規制や高いメンテナンス費用等が、台湾国産 5 軸加工機の競争力を高める上でのボトルネックになっていた。この状況を変え、5 軸同期制御コントローラの国産化が強く求められている。

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2026.09.29スマートファクトリー分野

高精度2軸旋回主軸ヘッド

台湾の大型門形 5 軸工作機械の 2 軸旋回主軸ヘッドのコア部品は、年間約 120 台の需要があるものの、その大部分を輸入品に依存している。輸入製品は納期が最長 6 ヶ月、価格も一台あたり約 400 万 ~500 万台湾元と高額であり、導入コストや保守対応にも課題を抱えている。一方、台湾国産 2 軸旋回主軸ヘッドの主要部品では精度面で海外大手ブランドに及ばず、航空宇宙向け加工設備の高付加価値化や差別化が難しい状況にある。

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2026.09.29スマートファクトリー分野

油静圧ロータリーテーブル

一般的な転がり軸受モジュールは摩耗や疲労破壊が発生しやすく、精度や耐久性に課題がある。油静圧モジュールは、回転速度範囲が非常に限定的で、また特定の傾斜角でしか使用できないといった制約があるため、その多くは精密研削盤への適用にとどまっている。現在の工作機械業界において、超精密な旋削・フライス・研削を一台で複合加工に対応可能な油静圧ロータリーテーブルのコアモジュールが求められている。

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2026.09.29スマートファクトリー分野

AI音響式非破壊検査技術

金属製品の内部欠陥に対する従来の検査方法、例えば磁粉探傷、破壊試験、人工的な顕微鏡検査等は、効率が低く、作業者の経験に大きく依存する。また、欠陥品を早期に検出できなければ、大量の再加工や廃棄ロスが発生し、生産コストの増加につながる。さらに、脱炭素化やサステナビリティのトレンドにも対応しにくく、企業競争力に大きな影響を及ぼす。

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2026.09.29スマートファクトリー分野

工具摩耗予兆技術

金属加工過程における工具摩耗は、作業員が即時に検出するのが難しく、加工効率や品質に大きな影響を与える。従来は固定の交換タイミングを設定するしかなかったが、「工具摩耗予警技術」によって工具寿命を十分に分析でき、定期停止による検査で生じる生産性低下の問題を効果的に解決できる。

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2026.09.29スマートファクトリー分野

半導体排ガス処理装置予兆プラットフォーム

半導体製造プロセスでは、多くの粘性のある有害副生成物 ( 粉塵 ) が発生し、排ガス処理システムを通じてプロセスチャンバーから排出される。但し、この粘性粉塵は真空ポンプの摩耗や詰まりを引き起こし、チャンバー内の真空度が不足することでウェハの汚染や廃棄といった重大な損失につながる。本予兆検知プラットフォームは、排ガス処理システムを監視・管理することで、装置の故障や労働災害の発生を効果的に減少させることができる。

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2026.09.29スマートファクトリー分野

設備予兆診断技術

従来の製造業では定常業務として設備の巡回点検や保守を行うことが一般的だが、点検期間外に異常が生じたり、設備が停止することが多く、専門家やメーカーによる原因を究明に時間がかかり、生産能力に影響が出る場合もあれば、不合理な保守サイクルの設定で、コスト増となる場合もある。設備予兆診断技術は、AI に専門家の分析手法を学習させることで、大量かつ複雑なセンサデータを簡潔で直感的な設備状態情報に変換することができる。これにより、機械状態の正確な予測や異常状態の診断、リアルタイムでのフィードバックが可能となり、24 時間体制のAI監視エンジニアを 1 名雇うのと同等の効果を得ることができる。

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2026.09.29スマートファクトリー分野

サンドイッチ型異種複合材料製造技術

炭素繊維複合材料は比強度が高く、構造の軽量化を実現する重要な材料の一つであるものの、大きな荷重や変形が加わる用途では、まだ課題が残っている。例えば、炭素繊維のみの複合材は脆く割れやすい。金属と炭素繊維を組み合わせた異材複合材は製造プロセスが複雑で、力が加わると界面が剥がれやすいため、構造全体の信頼性に影響を与える。

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