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歷史雜誌

依專輯名稱關鍵字搜尋或依年份搜尋，年份輸入範例202406

作者:陳世昌、陳孟群、洪揚、劉東昇多軸動態鏡面追蹤雙回饋量測補償技術

隨著光電產業的發展與科技的進步，大型製程設備的發展逐漸朝向高精密定位的目標邁進。在大行程精密設備中，如第6代以上大尺寸面板設備，精密量測系統扮演著極其重要的角色。大行程精密設備與精密設備相比而言，大行程精密設備需要在大行程（行程> 2000 mm）的狀況下，仍然保持著高水準量測精度(定位精度<0.5 μm)。為此大行程精密設備需發展一套新量測架構，結合雷射干涉儀、光學尺、主動式驅動鏡面、動態鏡面誤差補償技術、阿貝誤差消除技術等，以達成大行程精密定位的最終目標。本文章將針對大型程精密設備所需之量測系統特性、技術進行探討。

作者:劉東昇、洪揚、陳世昌雷射量測與演算法於精密定位之應用

雷射干涉儀受到很多因素影響其精度。拜現今科技進步所賜，雷射干涉儀遇到之難題已得到很大的改善，現在已成為市面上可提供高精度與高解析度的儀器。

工業各大領域在使用精密機械上要求精度越來越高，不論是工具機產業、面板產業、封裝製程等，例如因為關鍵尺寸需求勢必得開發大行程精密定位平台，由於大行程大跨距導致的累積誤差往往使定位過程達不到需求，在此引入雷射干涉儀配合傳統的光學尺使用抑制阿貝誤差。

本文發展雙回饋量測補償技術，取得回授資訊並計算控制推力達到閉回授控制，藉由切換粗細定位達到高精密定位的需求。