作者:劉展羽、翁志強、張高德、施志軒整合機器手臂之常壓微能量束光學元件面形修整技術
本研究提出一套可於常壓大氣環境下運作之機器手臂微能量束自動化面形修整技術。系統透過射
頻（RF）激發 Ar 與 CF₄ 反應性氣體產生高活性自由基，利用非接觸式之物理與化學反應機制進行局部材料移除，並結合六軸工業機器手臂，以提升加工範圍與自動化能力。研究中針對製程參數進行分析，結果顯示材料移除深度與工作距離之間具有高度相關的非線性特性，其回歸模型決定係數達 R² = 0.9965；此外，線掃描測試亦成功建立移動速度與材料移除量之對應關係。於面形修整實驗中，石英工件之面形精度（Surface figure error）由初始約 0.7λ 改善至 0.27λ，RMS 則降低至 0.05λ。研究結果驗證該技術具備於常壓環境下實現高精度、自動化光學面形修整之可行性，並展現其於高階光學元件製造與自由曲面加工應用之潛力。