作者:劉展羽、翁志強、李祐昇、張高德常壓微能量束奈米級面形修整技術
本研究提出一種可於常壓環境下進行之非接觸式微能量束精微拋光技術，具備奈米級面形修整能力。透過反應性氣體在射頻激發下產生高反應性物種與材料交互作用，實現材料的選擇性去除與無應力加工。系統整合即時面形量測與回饋機制，並搭配自建修整路徑演算法，可針對非球面與自由曲面光學元件進行高精度修整，達成面形誤差 ＜λ/10與表面粗糙度Ra~1 nm。特別適用於高精度光學鏡片製程中後段之精密加工需求，展現其在精密光學製造領域的高度適應性與技術潛力。