作者:陳世昌、陳孟群、洪揚、劉東昇多軸動態鏡面追蹤雙回饋量測補償技術
隨著光電產業的發展與科技的進步，大型製程設備的發展逐漸朝向高精密定位的目標邁進。在大行程精密設備中，如第6代以上大尺寸面板設備，精密量測系統扮演著極其重要的角色。大行程精密設備與精密設備相比而言，大行程精密設備需要在大行程（行程> 2000 mm）的狀況下，仍然保持著高水準量測精度(定位精度<0.5 μm)。為此大行程精密設備需發展一套新量測架構，結合雷射干涉儀、光學尺、主動式驅動鏡面、動態鏡面誤差補償技術、阿貝誤差消除技術等，以達成大行程精密定位的最終目標。本文章將針對大型程精密設備所需之量測系統特性、技術進行探討。