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當期雜誌

作者:陳鵬宇、吳佩珊、曹嘉、吳孟儒大型運具傳動電動化之國際趨勢與國內定位

2030年公務車輛及公車全面電動化，將是國內大型車輛相關產業發展之機會。然而國內大型車輛之零組件長期仰賴進口，造成產業價值無法提升；本文將研究國際車輛電動化之進程與必要性，再依政策需求找出大型車輛產業升級的突破口，並分析國內大型車輛所需之傳動技術。最後介紹本部門實際輔導國內業者的過程，分享促進產業轉型的實際案例。

作者:陳鵬宇、吳佩珊、謝章嘉、石伊蓓RV擺線減速機之設計分析軟體平台系統

擺線齒輪減速機使用在精密機械的傳動上已有一段很長的時間，此類減速機與傳統行星式減速機相比，具有：高承載力、低背隙、較大的減速比、較小的體積及較高的傳動效率等優點。再者擺線齒輪減速機為關節型機器手臂的關鍵零組件，其最重要的性能指標為強度、角度傳遞誤差、背隙和使用壽命，因此如何在設計階段，減速機能滿足性能需求為最重要課題。本計畫為開發擺線齒輪減速機設計和分析軟體平台，期望透過軟體，達到縮短減速機設計時程，以及確保設計之減速機性能和壽命能符合需求。

作者:吳佩珊、董福慶大面積電漿源鍍膜技術介紹

作者:董福慶、吳佩珊、陳家銘、林重勳、魏大欽、趙修武、吳慶輝高密度電漿源的模擬與量測分析

作者:董福慶、吳佩珊、金崇碩、張翼、黃金花超高頻PECVD成長微晶矽薄膜

本文乃就超高頻PECVD成長微晶矽薄膜量測分析撰文。微晶矽薄膜主要是用矽甲烷（SiH4）與氫氣（H2）的混合，經由超高頻40.68MHz激發電漿解離進行薄膜沉積。在產業生產需求上，降低生產成本為主要目標。太陽電池為求降低更大的成本，則較高的模組效率與鍍膜速率是必需的。本質層微晶矽薄膜的結構受到製程參數極大的影響，諸如電漿功率密度、基板溫度、氣體流量比例與沉積時的真空壓力。調整這些鍍膜沉積的參數，以研究其沉積的薄膜所對應的各種電性與微結構性質，從其中找出最佳沉積條件以應用於高效率矽薄膜太陽電池。

作者:董福慶、吳佩珊、趙修武、林重勳、魏大欽高密度電漿源氣流場模擬分析

以電漿輔助化學氣相沉積設備進行低溫微晶矽薄膜的成長，在太陽能產業中引起極大的注意，特別是在製造矽薄膜太陽電池上。藉由矽甲烷（SiH4）與氫氣（H2）混合後，經由氬電漿解離反應形成微晶矽薄膜做一模擬先導研究。建立電漿模型以模擬分析在真空腔體中的製程氣體與電漿之化學反應。從真空腔體中氣相物種的運動行為了解製程參數對各種不同物種，在反應過程中生成與消耗的影響，此模型導入17個物種，37個有關電子、離子與自由基及中性物種等化學反應式來計算。所提出的二維模型之模擬分析可獲得在基板上成膜時，靠近基板的關鍵物種之重要資訊，也同時說明控制基板上成膜的主要反應機制。

作者:賴識翔、董福慶、賴麗惠、陳思豪、王怡珊、吳佩珊、陳建志OLED蒸鍍設備專利發展趨勢

OLED照明是一種平面光源，亮度與色溫具可調性且具有高演色性，但OLED元件仍有許多需改進的地方，其中之一便是成本過高，光是設備與材料成本就分別占了OLED生產成本的40 %與20 %，因此高材料利用率的OLED關鍵製程設備之開發是刻不容緩的。本文針對OLED關鍵製程蒸鍍設備專利的發展作ㄧ分析，並從中觀察其重要專利之影響，希望未來台灣能建立相關自有專利優勢與擁有自主化之OLED關鍵製程設備。

作者:陳冠州、吳佩珊、李志中、林灣松、陳冠翰LED晶圓取放之模擬與應力分析技術

現今將LED晶圓取放於製程用晶圓盤的動作均是以人工方式進行，操作過程中容易因為人員的取放疏失而導致晶圓破片，並且耗時耗工。隨著製程技術的進步，且因應晶圓朝向大尺寸及薄化的需求，自動化LED晶圓上下料取放傳輸技術為必然之趨勢，可用來降低以人工方式取放晶圓發生破片的風險，並減少人工成本及提高產能等益處。本文針對取放傳輸系統中夾爪夾持晶圓時的應力進行模擬，分析夾爪機構中撓性元件的彈簧係數k值對應力的影響，對於夾持裝置的設計，提供更有效的設計依據。

作者:胡智愷、林義鈞、利定東、董福慶、陳建志、吳佩珊、王慶鈞IR加熱模組之模擬分析與設計

本文研究使用Design on Simulation (DOS)的概念，此方法可運用在眾多半導體設備的設計研發上，其中加熱器是半導體設備中的關鍵零組件，一個良好的加熱器設計，它需具備升降溫度速率快、加熱後盤面溫差小等特點。且加熱器在製程中扮演提供穩定熱源的重要角色。半導體加熱器依加熱溫度分大致可為低溫、中溫以及高溫三種加熱種類，本文研究的即是高溫IR加熱器，IR加熱器發熱體本身與待加熱載台呈現非接觸的型式。在本文中，發熱體種類為電熱管，其內部加熱管圖形陣列方式和載盤本身材料，將直接影響加熱後載盤表面的溫度分佈，文末，找出最佳化自行設計電熱管圖形，其碳化矽為最好的載盤材料。

作者:吳佩珊、吳宗翰高精度傳動軸件的製程技術

在汽車、工程機械與船舶中，傳動軸件是模組主要零件之一，常用於精密旋轉零件之間的連接與承受衝擊負荷和傳遞動力，由於傳動軸件的精度要求高，因此加工製程與條件十分嚴格，若製程中其中一個環節沒有做仔細考量，都會影響到加工效率及工件的品質，也會影響傳動軸件的使用壽命與模組的可靠性。本文首先介紹製程計畫安排，並討論目前國內主要發展的傳動軸件及加工困難點，並對製程誤差分析與夾治具設計提出一些看法，希望有利於精密機械業發展。

作者:吳佩珊、李芳明高精度擺線針輪減速機分析研究

本文應用機械動力分析軟體 ADAMS 探討擺線針輪減速機與RV減速機之輸出情形，建立模擬的流程。就輸出轉速而言，RV減速機的擺線針輪減速機構轉速低，輸出時更平穩；就負載而言，在輸出部使用同樣的負載情形下，本研究發現RV減速機的輸入扭矩需求較低。本文也同時探討了針齒受力的比較，未來亦可繼續朝軸承受力分析與最佳化設計方向研究。