作者:王浩偉、張奕威、戴菁儀、李孟錡、陳韋豪鏡片波前量測及波前修正技術介紹
在半導體光學鏡片製造中，波前量測與波前修正技術扮演關鍵角色。量測鏡片後相對理想參考面的波前誤差，能確認出鏡片整體性能。以顯微鏡中的管鏡 (Tube Lens) 為例，本文利用四波剪切干涉技術 (Quadriwave Lateral Shearing Interferometry, QWLSI) 進行波前量測，透過干涉條紋分析、傅立葉頻域濾波、波前梯度回推與相位積分重建等流程，重建出波前資訊。此資訊不僅可判斷出鏡片像差，更可將誤差轉換成加工移除量，導引非接觸式加工方法。展望新一代大氣電漿與離子束修整技術，借波前修正手法，將有效修整鏡片表面形貌來降低波前誤差，提升光學元件成像品質。