作者:張隆武、方彥博、劉建聖、陳昱達、林威辰雷射源微型精密構裝與檢測技術應用
本研究提出一款新型非接觸式光學量測系統，用於雷射源微型精密構裝線性位移平台六自由度誤差量測，相較於市售光學量測儀器，如雷射干涉儀與自動視準儀等，此量測系統具有同時量測線性軸六自由度誤差和低成本的優勢。整體量測系統係由一個雷射源、兩個立方體分光鏡、兩個平面反射鏡及三個位置感測器所組成。利用歪斜光線追蹤理論與一階泰勒展開，建立當量測系統具有六自由度幾何誤差時的數學模型，最後建立實驗室雛型品，實驗結果顯示，本量測系統位移重複精度為±0.6 μm、角度重複精度為±0.2 arcsec，再搭配雷射干涉儀的實驗比對，實驗結果顯示整體量測系統精度在位移為±1 μm、角度為±0.2 arcsec，量測行程為6 mm。