先進製造與量測技術專輯

2022年10月號 475期

本期專輯期望能從先進製造與檢測技術中,挑選突破點與建立技術制高點,並與讀者們一同分享與交流,同時也希望能引起產學研各界之共鳴,大家一起投入發展,讓臺灣先進製造與檢測技術能持續進步與應用,帶動臺灣製造業之發展。

精選雜誌影音

就是那道光 薄膜應力與光彈應力智慧檢測技術

現今的高階半導體或光電等元件都朝向輕薄且精密,薄膜製程為一個極為要的關鍵步驟,當薄膜應力過大時,可能會使得元件產生劇烈變形而導致結構損壞,因此,薄膜應力量測技術日顯重要,也是多數的半導體廠商想要克服的問題之一。 這些問題在本期機械工業雜誌10月號「先進製造與量測技術專輯」裡邀請工研院機械所黃萌祺副組長與工研院量測中心陳柏宇工程師,一同聊聊薄膜應力檢測的重要性與困難點,以及光彈應力智慧檢測技術於碳化矽量測實例介紹,機會千載難逢,千萬別錯過!

精彩內容

編者的話 | 前饋預測與反饋修正 vs先進製造與智慧量測連豊力
技術專輯主編前言|先進製造與量測技術專輯主編前言黃萌祺
領袖觀點|工具機綠色轉型,提升產業永續力陳伯佳
產業脈動|邁向智造道路上的數位化與低碳轉型 黃仲宏
濺鍍設備之薄膜應力模擬分析技術林義鈞、黃智勇、陳冠州、李昌駿、劉彥禹、張哲培
以實驗設計法探討電漿參數對其製備氟碳膜性質之影響劉志宏、沈家志、魏大欽
全介電質複合薄膜光學模擬及特性分析技術 林士欽、賴識翔、王慶鈞、唐謙仁、田春林
雷射誘發金屬化3D電路製造技術與應用周敏傑、黃萌祺、高端環、黃悅真、羅慶峰、林寶洲
電漿離子能量分佈量測技術 張家豪、蘇郁仁、黃威
薄膜應力與光彈應力智慧檢測技術 陳柏宇
卷對卷式鋼帶表面瑕疵智慧光學檢測技術陳柏安、劉定坤、吳潔瑜、王柏凱