首頁 > 研究與發展 > 先進綠能 先進綠能 智慧機械與機器人 先進綠能 智慧機電 智慧車輛 大機械學研平台 晶圓式離子能量量測模組 半導體電漿製程中，晶圓表面之離子能量大小及空間分佈情形極為關鍵。晶圓式離子能量分析模組具有19個GiEA量測單元，可用以量測晶圓上離子能量空間分佈情形。 GiEA (Gridded ion Energy Analyzer)量測單元具有 2023/07/31 類燭光OLED產品 我們在超低色溫類燭光上面具有綿密的專利佈局，涵蓋無藍害、人眼友善、褪黑激素分泌友善主要光源。類燭光OLED與蠟燭有高達80%的相似性，其色溫可達1600K；從視網膜保護的角度而言，類燭光OLED比冷白的CFL、LED至少安全60倍；從 2023/07/21 可視化磊晶製程 工研院獨創高溫流場可藐化設酐驗證載台1 來模擬接近真實磊晶製程環境，作為此軟體預測鍍率及膜厚均勻度之研究基礎。經由CyberEpi磊晶製程操作人員獲得製程參數時間自1週縮短至2小時，而數位化精準決定參數的分析準確度也自92％提高95% 2023/07/21 快速製造之霧化氣噴印微細圖案化系統 本技術自行開發霧化氣噴印圖案化技術，透過整合超音波霧化器、精密氣流限縮模組與高精度噴印頭，使得 2D/3D 電子線路產品在初期打樣時得以快速進行驗證， 縮短目前打樣階段所需耗費的冗長驗證時間，與昂貴的模具費用。 2023/07/11 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 下頁 末頁 共54筆
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