首頁 > 研究與發展 > 先進綠能 先進綠能 智慧機械與機器人 先進綠能 智慧機電 智慧車輛 大機械學研平台 AI智能晶圓研磨加工系統 整合具振動輔助的高功率主軸及砂輪監控兩項技術，解決碳化矽晶圓輪磨製程砂輪填塞問題。 2024/08/29 蛇腹式電漿診斷分析系統 能有效解決設備空間限制因素，無法快速驗證電漿特性之問題與提供全面域量測驗證技術。 2024/08/29 高深寬比玻璃填孔技術 高深寬比玻璃填孔技術能有效提升電極密度與晶片堆疊效能，進一步推動半導體技術的發展。 2024/08/29 單站多功能精密元件檢測系統 顯微與干涉共光路設計，提供同一視野2D/3D即時分析能力，可應用於二合一單站CD/OL檢測。 2024/08/29 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 下頁 末頁 共58筆
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