先進綠能

晶圓式離子能量量測模組

半導體電漿製程中,晶圓表面之離子能量大小及空間分佈情形極為關鍵。晶圓式離子能量分析模組具有19個GiEA量測單元,可用以量測晶圓上離子能量空間分佈情形。 GiEA (Gridded ion Energy Analyzer)量測單元具有

2023/07/31

類燭光OLED產品

我們在超低色溫類燭光上面具有綿密的專利佈局,涵蓋無藍害、人眼友善、褪黑激素分泌友善主要光源。類燭光OLED與蠟燭有高達80%的相似性,其色溫可達1600K;從視網膜保護的角度而言,類燭光OLED比冷白的CFL、LED至少安全60倍;從

2023/07/21

可視化磊晶製程

工研院獨創高溫流場可藐化設酐驗證載台1 來模擬接近真實磊晶製程環境,作為此軟體預測鍍率及膜厚均勻度之研究基礎。經由CyberEpi磊晶製程操作人員獲得製程參數時間自1週縮短至2小時,而數位化精準決定參數的分析準確度也自92%提高95%

2023/07/21

快速製造之霧化氣噴印微細圖案化系統

本技術自行開發霧化氣噴印圖案化技術,透過整合超音波霧化器、精密氣流限縮模組與高精度噴印頭,使得 2D/3D 電子線路產品在初期打樣時得以快速進行驗證, 縮短目前打樣階段所需耗費的冗長驗證時間,與昂貴的模具費用。

2023/07/11