2021年10月號 463期

半導體製程良率再進化 電漿量測技術說給你聽

良率、成本為進入商業量產市場之關鍵,電漿製程是現今半導體元件製造過程中極為重要的一環,隨著元件尺寸不斷縮小,使用材料多元化,檢測技術日顯重要,電漿量測技術如何減少不良率產生?

編者的話 | 《關鍵報告》與《我從太空考古》

在2002年,由史蒂芬.史匹柏執導,湯姆.克魯斯主演的科幻電影《關鍵報告》,故事的主軸是:在未來的世界,犯罪事件可以被事先預測,罪犯可以事先捕捉,於是能達到預防犯罪與沒有罪犯的世界。這個預測的機制來自對每一位人的所有生理/心....

技術專輯主編前言 | 數位製造與檢測技術專輯主編前言

隨著5G、物聯網與智慧製造等技術成熟發展,數位雙生或被稱為數位孿生(Digital twin)技術也被認為未來核心技術之一,數位雙生技術是指在模擬軟體平台中進行類比物理或化學等實驗、流程或是系統製造,類似實體系統在模擬軟體平....