專利市集 - 半導體設備
在具有半導體完整供應鏈及產業聚落的優越條件下，我國已成為全球半導體研發與生產重鎮。長期以來，工研院機械與機電系統研究所致力研發半導體設備開發所需的相關技術，舉凡半導體薄膜設備、先進電路製程設備等關鍵技術，並透過技術專利授權以及合作開發等多種模式，支援協助國內機械產業進行升級，並與之合作開拓半導體設備市場。
因應半導體產業在先進製程及其設備所需的市場趨勢，工研院機械所在技術開發與專利佈局上已有充分的準備。竭誠歡迎有志一同的業界與我們聯繫，期以共創方式共創未來。
半導體設備
聯絡窗口：工研院機械所 企畫研發組 梁淑芸 電話：03-5913355
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