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矽薄膜型太陽電池模組量產技術現況
太陽光電
電漿輔助化學沉積
矽薄膜太陽電池
photovoltaic
PV
plasma enhanced chemical vapor deposition
PECVD
silicon thin-film photovoltaic cell
作者
郭明村
刊登日期:2008/05/01
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常壓電漿設備技術
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