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歷史雜誌

依專輯名稱關鍵字搜尋或依年份搜尋，年份輸入範例202406

作者:偕睿仁、吳鴻材、吳宜蓁、陳紹嘉、胡石政高耗能廠務系統節能潛力評估及人工智慧之應用機會

高科技晶圓廠房之廠務系統因具備高負載運行特性，其空調系統（Heating, Ventilation, and AirConditioning, HVAC）往往成為能效優化的核心熱點。為求精準評估節能潛力，本研究導入 SEMI S23 國際基準，建構等效電能轉換指標，將多元公用資源需求納入統一量測體系。透過開發「模組化能耗估測技術」，深度整合環境變動軌跡、即時設備負載與操作參數，建立高動態性的系統能耗推估模型。經由國內某 12 吋晶圓廠實證結果顯示，藉由本案之節能策略優化，年度可實現約 20 萬 kWh 之節電成效，具備顯著之減碳與經濟效益。文末進一步探討人工智慧（Artificial Intelligence, AI）於廠務端進行預測性節能管理之應用路徑，為未來綠色智慧廠房之建置提供實務參考。