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機械工業雜誌
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專輯名稱
文章名稱
年份
依專輯名稱關鍵字搜尋或依年份搜尋,年份輸入範例202406
作者:羅昱翔、梁育禎、劉俊葳
基於人工智慧之透鏡中頻誤差改善
近年來,光電產業發展推動光學元件加工效率與品質提升,其中氣囊式子孔徑拋光對中頻誤差控制至關重要。傳統螺旋路徑易產生波紋,提高中頻誤差,影響光學性能。本研究優化螺旋路徑模型,分析加工參數對中頻誤差功率譜密度(Power spectral density, PSD)曲線的影響。先利用反應曲面法初步優化參數,再結合支持向量迴歸(Support vector regression, SVR)與高斯過程迴歸(Gaussian processes regression, GPR)進行非線性區域優化。結果顯示,反應曲面最佳化後PSD RMSE值降至1.02×10⁻³ μm³,導入SVR與GPR後進一步降至0.93×10⁻³ μm³,相較未優化最大降低97.0%。PSD曲線平滑,中頻誤差合規率由46.1%提升至91.7%,有效改善中頻誤差,達成最佳化目標。
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