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作者:黃建福、吳建良、楊宏仁、王友志、劉俊岑
低壓化學氣相沉積技術
由於矽薄膜太陽電池使用純矽原料少,與面板業技術大致相通可進行大面積化的玻璃製程,且透光型太陽電池可應用於建築材料上而達到發電且美觀的目的,因此矽薄膜太陽電池技術在眾多太陽電池技術中格外受矚目,然而矽薄膜太陽電池目前仍有玻璃基板與透明導電膜成本過高的問題。本文除了介紹透明導電層在矽薄膜太陽電池上之應用外,並比較目前各技術開發的現況,也說明低壓化學沉積技術之發展現況。
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