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歷史雜誌

依專輯名稱關鍵字搜尋或依年份搜尋，年份輸入範例202406

作者:董書屏、簡麗珍、陳建文、戴鴻名雷射干涉微影於光學尺製作技術

光學尺在工具機設備中是非常重要元件。本文主要介紹國內外光學尺中計量尺（光柵）製作技術。傳統上,主要以機械加工方式加工光柵。隨微影製程技術不斷進步，以光罩方式進行曝光成為主流。而干涉式微影方法是近幾年來發展的新技術。我們以干涉式微影方法製作1.6 μm週期長度計量尺（光柵）。