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歷史雜誌

依專輯名稱關鍵字搜尋或依年份搜尋，年份輸入範例202406

作者:許世明、羅憶青、彭鈺原、黃仲平、尹慶中MOCVD反應腔之即時監測技術

矽基氮化鎵發光二極體（LED）的磊晶製程是在高溫真空密閉腔體內進行，常見製程方法為金屬有機化學氣相沈積（MOCVD）與分子束磊晶（MBE）。溫度變化、沈積材料及薄膜厚度等，都會影響磊晶薄膜的品質。本研究旨在發展線上光學非接觸式量測技術，即時測量薄膜磊晶的製程參數：曲率、反射率與溫度。晶圓反射率是磊晶膜的折射率及厚度的函數，亦是高溫輻射溫度計的修正因子，由反射率歷時曲線可觀察晶圓表面的粗糙度及磊晶膜成長率。矽基氮化鎵製程的晶圓曲率過大，磊晶膜容易產生缺陷或脫落。本文以即時量測系統的理論模型建立與實驗架構開發為主，透過有效地即時監測並回饋製程系統做補償，作為未來發展高溫化學反應腔即時量測系統的基礎。

作者:唐溥陽、蔡孟勳、李建毅應用曲線擬合技術於轉角線段之插補器設計

數控系統中，G01線段是最常用來描述刀具路徑的命令。傳統的插補方法在路徑的切線速度先做加減速規劃，再將速度命令分配到各軸，但此時會有各軸速度差的問題發生，透過後插補的方式雖然可以讓各軸速度命令平滑，但同時會造成轉角上的命令誤差，然而轉角命令誤差要計算並不容易，其誤差值會與最大加速度、速差、後插補時間等因素息息相關，所以在不同切線方向的線段相接時，轉角命令誤差會不同。

首先透過轉角擬合的方式，讓使用者設定一個期望的公差值，即可於線段相接處擬合出最大輪廓誤差與公差值一致的曲線來取代原本的直線轉角，也就是不管刀具路徑的切線方向如何改變，轉角命令誤差都會在拘束條件內，且曲線須包含切線、曲率連續。得到擬合後的刀具路徑，接下來會介紹插補的方法與流程，以及進給率的規劃方式，最後經由驗證，此方法可以不需要經過後插補器設計來達到各軸平滑，以避免後加減速所產生的命令誤差。

作者:姜奕弘、洪國峰、洪景華智慧多軸機器人整直技術

在扳手製造過程中，熱處理雖能提升機械強度，但常導致嚴重變形，使幾何尺寸不達標。因此，熱處理後的變形整直至關重要。目前業界主要依靠人工進行整直，缺乏統一標準，依賴目視判斷，效果不穩定。本文提出了一種全新的整直方法，適用於不同尺寸規格的扳手。量測方面，使用線掃描儀獲取扳手外形輪廓，自動提取變形特徵；整直方面，基於力學理論和材料特性的負載-變形解析模型獲取最佳整直參數，並結合有限元素模擬進行驗證。系統化整直流程和量測方法，使整直後永久變形誤差小於7.6%。此外，搭配多軸機器人進行自動化上下料，提高生產效率，為業界提供高效、可靠的解決方案。

作者:徐烱勛、陳澤閎、黃偉杰RGB 光源對於可撓性透明光學基板撓曲曲率半徑量測準確性之研究

軟性顯示器為未來顯示器的發展趨勢，軟性顯示器之所以具備可撓性、耐衝擊性和可穿戴性之優點，乃為其採用一可撓性光學透明膜片為基板材料，並透過先進之製程技術，將相關電子元件與裝置直接製作或列印於此基板上。本文提出之一基於偏振光學之光學量測技術，用以量測可撓性基板於撓曲變形下之撓曲曲率半徑，分別採用RGB 光源進行量測，並探討所提出方法於RGB 光源下之量測準確性之探討。