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作者:林昆蔚、柯順升雷射調光模組於太陽能矽晶片微裂檢測系統之應用

為因應雷射工業之快速發展以及雷射應用產業之需求，本文提出一種結合雷射之曝光調節裝置應用在檢測系統上，此系統針對太陽能電池微裂檢測用。利用Line scan Camera擷取透射過矽晶片之近紅外光影像，我們可以很容易分辨Line scan Camera擷取影像之微裂紋和晶粒邊界。此外在系統中使用雷射曝光調節裝置，對於厚度不一的多晶矽太陽能晶圓微裂檢測非常有效，此檢測系統可符合太陽能電池廠生產線上矽晶片品質控制之需求。