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歷史雜誌

依專輯名稱關鍵字搜尋或依年份搜尋，年份輸入範例202406

作者:陳世昌半導體研磨設備之大尺寸氣靜壓主軸技術

藉由研磨用氣靜壓主軸與氣靜壓旋轉工作台之互動機械特性分析，說明氣靜壓主軸無論是採用小孔節流器或是採用多孔性材質節流器，氣浮剛性的差異不如氣靜壓主軸與氣靜壓旋轉工作台相對剛性的百倍差異來得重要。在研磨過程中，磨削力的大小，作用到氣靜壓主軸與氣靜壓旋轉工作台會直接影響到加工的精度如厚度變異量（TTV）、厚度公差及表面粗度等等。研磨應力集中於主軸頸部問題應該是高剛性氣靜壓主軸研磨難削材必須面對的。
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