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歷史雜誌

依專輯名稱關鍵字搜尋或依年份搜尋，年份輸入範例202406

作者:陳世昌、洪揚、劉東昇長行程微奈米精密定位技術

近年來AMOLED逐漸成為面板業的趨勢，全球顯示器設備的投資上AMOLED逐漸逼近TFT-LCD，未來幾年AMOLED生產設備投資金額將與TFT-LCD持平並於未來超越之。隨著面板世代的演進，其尺寸也隨之增大。
就AMOLED生產設備而言，隨著玻璃基板尺寸的增加，其檢測所需定位精度亦隨之增加。而在其製程當中以蒸鍍及張網與其檢測最為關鍵。由於目前全球第六代AMOLED大行程張網技術由韓國壟斷。為了協助國內業者開發第六代AMOLED張網機，以突破韓國技術壟斷，故吾人提出三項核心技術達成張網機之大行程精密定位要求。本文將針對產業大行程精密定位之需求、製程困難與此三項關鍵技術做詳細介紹。

作者:陳世剛、許瑋恩、李宜靜、李峰吉、連豊力多軸精密控制系統參數鑑別與同動控制技術

在半導體產業中，精密、快速及穩定的設備對於曝光或晶片封裝等製程至關重要，在定位平台部分通常使用一種在兩個平行的軌道上，使用兩個馬達來驅動的架構，稱為龍門系統，受益於在兩邊都安裝了馬達，平台具有更高的速度、推力；但也因此系統整體較為複雜，在兩側的馬達需要進行精準的同動控制，否則將會出現相互拉扯、震動等等情況。本文以干擾觀測器(Disturbance Observer, DOB)來觀測馬達輸入訊號以及響應之誤差，藉此透過推導模型計算系統參數對其之影響，並且估測系統參數值。此方法可以減少傳統掃頻鑑別方法對半導體之精密機台的損耗，並使用雙軸強健式同動控制器進行控制，降低精密定位平台對環境溫度、外部干擾等變因的控制要求。本文亦提出線性馬達相位角最佳化的方法，降低因為相位角的偏移導致底層換相控制之誤差，進而使控制性能下降。本文成果可以用於如半導體製程中所使用的定位平台，完整的流程包含系統鑑別開始到控制器的設計，實現將待加工物快速且精準的移動到指定位置。