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依專輯名稱關鍵字搜尋或依年份搜尋,年份輸入範例202406
作者:黃仲宏
晶圓機器人的市佔統計與發展趨勢
半導體生產線上,使用電腦控制的自動化已盛行多年。特別是在矽晶圓上做出半導體的前段製程中的自動搬送機與機器人,在製程的串接上發揮了很大的功用。從晶圓倉庫到生產線的搬運、將半成品晶圓從無塵室內的某一製程搬送到另一個製程、或是同樣一個製程內對某一裝置的裝卸載等,甚至是將完成的晶圓搬送到下一個晶圓檢驗製程的搬送作業,均由自動搬送機或機器人,以幾乎完全自動化的方式達成,在半導體製程設備中所使用的晶圓機器人(Wafer Robot),於晶圓片的移載及傳送,具有相當的重要性,機器人在半導體設備裡是個「重要的配角」。在上述的認知和半導體設備的市場規模研究基礎下,我們以實際訪廠、問卷,以及統計手法得到2017年~2021年臺灣半導體廠前後段製程設備所導入的機器人品牌與數量。除了列出市佔排名外,並提出二個觀點,一是半導體製程設備商為了讓自己的產品更有競爭力,會朝向提供更Total Solutions(整合功能)的解決方案給半導體製造商。二是做晶圓機器人的公司將不只是提供機器人,而是提供成機,也就是EFEM(Equipment Front End Module,設備前端模組)、Sorter(分揀機)一起做,亦即不只單賣機器人,而是將機器人搭配Sorter、EFEM、Aligner(對準器)一起出貨給半導體設備商。
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