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歷史雜誌

依專輯名稱關鍵字搜尋或依年份搜尋，年份輸入範例202406

作者:張志振應用於太陽電池製程之電漿源分析

作者:林東穎、柯明賢、陳輝達、張均豪大面積電感式耦合電漿源與專利分析

作者:張家豪、林士欽、李侃峰、林冠宇大面積電容耦合射頻電漿源模組技術

本文討論電容耦合射頻電漿源，在增加製程面積至米平方等級（scaling up to meter square）以及增加射頻功率頻率至超高頻波段（very high frequency ,VHF）時，由於電磁波效應所產生的之電漿/製程不均勻問題。各章節將依序討論超高頻電漿功率的使用、駐波效應（standing wave effect）、駐波效應克服技術、趨膚效應（skin effect）以及邊緣效應（edge effect）。

作者:張存均、何亞奇、吳采亮低碳工業熱製程—高功率精密電漿加熱系統模擬研究

我國工業製造產生的溫室氣體約占全國排放總量的51.14%。目前改善措施包括使用再生能源、設備汰舊換新、工業鍋爐燃料轉換、加強減碳技術輔導及智慧化能源管理等。然而許多工業製程需要高溫，傳統上這是通過燃燒石化燃料來實現，而開發替代工藝來減少這些製程中的溫室氣體排放將極具有挑戰性。近年高溫工業製程的一個潛在替代方案是使用微波電離技術將石化燃料燃燒器切換為由電力產生的熱電漿。本文介紹了在大氣壓下運作的2.45 GHz微波電漿源的電磁優化模擬研究。並對使用電漿火炬與石化燃料的能源成本與排放進行了評估比較。