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歷史雜誌

依專輯名稱關鍵字搜尋或依年份搜尋，年份輸入範例202406

作者:連豊力從捏泥巴到御用餐具與千錘百煉的武術刀

作者:張家銘高溫超導發電機設計應用於風力發電系統之研究

本文針對再生能源應用之高溫超導發電機（High Temperature Superconducting Generator, HTSG）進行探討。風力發電於再生能源應用中，其發電機容量是關鍵的研究議題，如何增加發電機功率密度與磁裝載能力是不可或缺的項目，此技術可透過高溫超導線材提供極高的電流傳輸能力，藉此產生強大的磁場強度。本文主要研究項目與步驟可分為兩大項說明，首先廣泛蒐集國內外相關之文獻與專利資料，並就其中關鍵技術探討分析，進一步針對HTSG於超導狀態下之電機磁路模擬，並且依據模擬結果，詳細規劃HTSG雛型機之規格、實體設計與製作。

作者:曾文彥、蘇志祥、羅志偉、黃昆平、張志振免焊料及助熔劑之高溫超導薄膜接合技術

本研究利用微波將兩塊高溫超導釔鋇銅氧（YBa2Cu3O7-δ）薄膜，從室溫加熱至熔融狀態，並在施加適當壓力下，使兩塊高溫超導薄膜可以在不用焊料及助熔劑的情形下黏合在一起。經不同溫度下薄膜電阻的檢測，確認接合後的薄膜仍具高溫超導的特性。此研究結果將可進一步應用於製作無限長之高溫超導線材。

作者:林義鈞、胡智愷、利定東MOCVD高溫加熱系統模擬技術

加熱器為MOCVD設備中的關鍵零組件，本案以Veeco D-180內部加熱系統作為研究目標，為了使加熱後載台表面溫度分佈均勻，總共進行三項數值分析，分別是二區段加熱片陣列形狀分析、載台材料分析、間距分析（加熱片與載台之間距離）。藉由以上分析，加熱器優化參數條件有：（1） D-180加熱片、（2）載台材質選用碳化矽、（3）間距為4 mm。最後，從加熱器模擬分析結果可得到，載台表面溫度不均勻度為0.66 %，成功模擬設計出MOCVD 高溫加熱系統。

作者:許世明、羅憶青、彭鈺原、黃仲平、尹慶中MOCVD反應腔之即時監測技術

矽基氮化鎵發光二極體（LED）的磊晶製程是在高溫真空密閉腔體內進行，常見製程方法為金屬有機化學氣相沈積（MOCVD）與分子束磊晶（MBE）。溫度變化、沈積材料及薄膜厚度等，都會影響磊晶薄膜的品質。本研究旨在發展線上光學非接觸式量測技術，即時測量薄膜磊晶的製程參數：曲率、反射率與溫度。晶圓反射率是磊晶膜的折射率及厚度的函數，亦是高溫輻射溫度計的修正因子，由反射率歷時曲線可觀察晶圓表面的粗糙度及磊晶膜成長率。矽基氮化鎵製程的晶圓曲率過大，磊晶膜容易產生缺陷或脫落。本文以即時量測系統的理論模型建立與實驗架構開發為主，透過有效地即時監測並回饋製程系統做補償，作為未來發展高溫化學反應腔即時量測系統的基礎。
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