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作者:賴律臻、林佑儒、李朱育可應用於顯微鏡的光學式自動對焦法

顯微鏡系統的發展約有四個世紀之久，種類與用途也包羅萬象。由於半導體產業於檢測尺度的微米化，使得目前應用在缺陷檢測機台的顯微對焦技術，需要用影像處理法或是光學的方式來對焦於產品以達到檢測精度的要求。其中光學式自動對焦方法提供顯微鏡快速且精密對焦的技術，可以解決影像處理式對焦法對焦誤判的問題。目前應用於顯微鏡的光學式自動對焦方法，是以偵測待測物離焦所引起的反射光特性為主，再藉由反射光特性變化反推待測物的離焦情形。本文首先概略闡述三種光學式對焦方法，接著介紹本實驗室所提出的螺旋疊紋對焦法，其具有精密且快速的對焦能力，於光學檢測系統的應用上將是一套擁有發展潛力的對焦技術。