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歷史雜誌

依專輯名稱關鍵字搜尋或依年份搜尋，年份輸入範例202406

作者:古鎮南、徐紹煜、林玉堃、謝東洲氣靜壓磨削主軸之多孔質軸承技術

氣靜壓磨削主軸為精密機械的關鍵元件，在超精密磨削工具機與半導體設備等產業應用甚廣。有別於國內先前的開發案採用微孔式氣靜壓軸承，我們選用承載能力更高的多孔質氣靜壓軸承，欲了解多孔質軸承的性能，我們以單一柱塞之簡化模型來研究局部多孔質軸承的氣隙壓力，應用有限體積法及壓力與速度耦合之技術，藉由計算流力軟體分析在不同氣隙厚度及邊長的情況下的氣隙壓力分佈及平均壓力，以瞭解該等參數之變化對軸承性能之影響。

作者:陳世昌半導體研磨設備之大尺寸氣靜壓主軸技術

作者:林玉堃、陳佳盟、趙克傑、鄭貴元應用聲射訊號於藍寶石晶圓研磨之砂輪狀態監測

本文分析磨削藍寶石晶圓所發出的聲射訊號，定義出高精度硬脆材料薄化設備（立式磨輪加工機）的砂輪特性。我們研究了研磨時聲射訊號的頻率成份，以定義不同結合度的三個砂輪其頻帶特徵。利用頻帶進行均方根(RMS)與功率比(ROP)統計，計算不同結合度及表面狀態變化的訊號差異。分析結果顯示，透過功率比統計方法，能有效辨別砂輪結合度差異，而聲射訊號中頻帶600~900 kHz含有大部分藍寶石與砂輪間的研磨信息，利用離散小波變換和均方根統計，能成功描述磨削過程中砂輪表面狀態的轉變，本篇研究之成果將應用在智慧研磨監測系統中。

作者:陳宇杰‧黃俊弘高速磨削工程陶瓷介紹與應用

作者:施志軒機器人CAD/CAM加工路徑規劃與拋光研磨應用介紹

作者:呂建興全球化合物半導體設備市場及產業發展趨勢

作者:施志軒、羅元玠、薛涵君、蔡德儒RobotSmith: 打造研磨拋光機器數位職人

金屬製品產業為製造業之龍頭，產業鏈以聚落形式、高效分工聞名國際，但近年來普遍面臨人口老化趨勢使勞動人口漸少，加上研磨拋光屬於「骯髒」Dirty、「危險」 Dangerous、「辛苦」Difficult的3D產業，讓年輕世代不願意投入接班傳承，導致世代斷層日漸嚴峻。因此機器數位職人在勞動密集型和高風險工作中扮演很重要的角色，並適合導入在研磨拋光製程中。藉由學習老師傅的「腦」、「手」、「眼」的技藝，透過數位化軟體將老師傅的技藝轉移給機器人。有鑑於台灣產業困境與轉型需求，工研院機械所團隊推出研磨拋光機器人品牌RobotSmith，提供整體軟硬解決方案，並以自有軟體EzSim完成機器人模擬及路徑參數最佳化、搭載感測器實現製程品質要求、並透過專利獲證設備定位技術實現虛實整合。期許在這波數位轉型浪潮中，以精實的技術能力，攜手台灣廠產業共創新頁。