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歷史雜誌

依專輯名稱關鍵字搜尋或依年份搜尋，年份輸入範例202406

作者:陳世昌半導體研磨設備之大尺寸氣靜壓主軸技術

作者:林玉堃、陳佳盟、趙克傑、鄭貴元應用聲射訊號於藍寶石晶圓研磨之砂輪狀態監測

本文分析磨削藍寶石晶圓所發出的聲射訊號，定義出高精度硬脆材料薄化設備（立式磨輪加工機）的砂輪特性。我們研究了研磨時聲射訊號的頻率成份，以定義不同結合度的三個砂輪其頻帶特徵。利用頻帶進行均方根(RMS)與功率比(ROP)統計，計算不同結合度及表面狀態變化的訊號差異。分析結果顯示，透過功率比統計方法，能有效辨別砂輪結合度差異，而聲射訊號中頻帶600~900 kHz含有大部分藍寶石與砂輪間的研磨信息，利用離散小波變換和均方根統計，能成功描述磨削過程中砂輪表面狀態的轉變，本篇研究之成果將應用在智慧研磨監測系統中。