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作者:沈威志、郭靜男、鄭中緯
飛秒雷射之透明材料內部改質應用
所謂超快雷射是指其脈衝寬度達到皮秒甚至飛秒的等級,一般當雷射功率密度大於1013 W/cm2,此時材料對能量吸收與雷射脈衝功率密度的n次方呈非線性關係(n=1、2、3…分別表示單光子、雙光子、三光子吸收)。本文首先介紹超快雷射非線性吸收現象,並透過電子晶格雙溫模型解釋分析在飛秒尺度下,超快雷射於透明介電材料內部之雷射退火改質特性,文章後段則主要介紹南分院雷射中心,發展飛秒雷射透明材料內部改質製程技術,並將其與台灣光電產業應用做結合,包含:Stealth Dicing、生醫材料內部3D結構製作、內部光柵、LCD亮點修補…等,以提高台灣產業的製程技術與競爭力。
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