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歷史雜誌

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作者:陳世昌、洪揚、劉東昇長行程微奈米精密定位技術

近年來AMOLED逐漸成為面板業的趨勢，全球顯示器設備的投資上AMOLED逐漸逼近TFT-LCD，未來幾年AMOLED生產設備投資金額將與TFT-LCD持平並於未來超越之。隨著面板世代的演進，其尺寸也隨之增大。
就AMOLED生產設備而言，隨著玻璃基板尺寸的增加，其檢測所需定位精度亦隨之增加。而在其製程當中以蒸鍍及張網與其檢測最為關鍵。由於目前全球第六代AMOLED大行程張網技術由韓國壟斷。為了協助國內業者開發第六代AMOLED張網機，以突破韓國技術壟斷，故吾人提出三項核心技術達成張網機之大行程精密定位要求。本文將針對產業大行程精密定位之需求、製程困難與此三項關鍵技術做詳細介紹。