前往中央內容區塊 :::
:::
  1. 回首頁
  2. 機械工業雜誌
  3. 歷史雜誌

歷史雜誌

依專輯名稱關鍵字搜尋或依年份搜尋，年份輸入範例202406

作者:徐得銘X光散射術之半導體檢測應用

利用X光（X-ray）所發展的小角散射術（small angle X-ray scatterometry, SAXS），其量測解析度遠高於傳統使用深紫外光（deep ultraviolet, DUV）的散射術。本文章將利用NIST所發展的小角散射術及美國國家實驗室的先進光子源（advanced photon source, APS）同步輻射加速器的X光來量測疊對光柵之疊對位移。在此我們製作了一多組疊對光柵，且每組彼此之間具有1 nm的疊對位移差值，利用小角散射理論或是嚴格耦合波理論（rigorous coupled-wave analysis, RCWA）分析其散射訊號，可得其三維結構及疊對位移值。從分析的數據可知，利用X光的小角散射術具有非常好的疊對位移解析度，其對於未來先進半導體製程檢測將是一大利器。

作者:陳柏宇、楊富程、劉定坤X光電腦斷層掃描技術之實驗驗證與探討

計量與檢測技術在工業製造中扮演關鍵角色，有助於品質控制、流程優化與產品開發。傳統檢測 多聚焦外觀，面對複雜內部結構，X 光電腦斷層掃描 (X-ray Computed Tomography, XCT) 因具非破壞性與 高解析度，成為重要工具，但XCT 量測受多種因素影響，使得系統驗證至關重要，以此確保內部三維結 構的高精度測量。針對國內XCT 校正追溯能力不足問題，依據國際VDI/VDE 2630 標準及市售設備規格， 本文發展XCT參考標準件與校正技術，透過實驗與數值分析，完成對XCT系統之量測誤差及其影響探討， 期望提升對XCT 系統驗證與檢測技術的理解，確保非破壞內層量測結果準確可靠。

作者:楊富程、劉定坤、陳柏宇工業X光電腦斷層掃描之驗證與量測技術
TOP