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歷史雜誌

依專輯名稱關鍵字搜尋或依年份搜尋，年份輸入範例202406

作者:丁嘉仁、翁志強、劉俊葳碳化矽晶圓複合加工技術

碳化矽雖具有優異材料物理特性，目前為繼矽晶圓材料之後，被注目看好之替代材料。但其材料堅硬（達莫氏硬度9.25~9.5）加工耗時成為產能上之瓶頸，導致成本居高不下。本研究以大氣電漿改質軟化輔助拋光之技術，結合化學機械拋光製程，整合開發創新碳化矽晶圓複合拋光技術，達到加速4吋碳化矽晶圓拋光製程之移除效率，並提升基板之表面拋光品質。

作者:羅昱翔、梁育禎、劉俊葳基於人工智慧之透鏡中頻誤差改善

近年來，光電產業發展推動光學元件加工效率與品質提升，其中氣囊式子孔徑拋光對中頻誤差控制至關重要。傳統螺旋路徑易產生波紋，提高中頻誤差，影響光學性能。本研究優化螺旋路徑模型，分析加工參數對中頻誤差功率譜密度（Power spectral density, PSD）曲線的影響。先利用反應曲面法初步優化參數，再結合支持向量迴歸（Support vector regression, SVR）與高斯過程迴歸（Gaussian processes regression, GPR）進行非線性區域優化。結果顯示，反應曲面最佳化後PSD RMSE值降至1.02×10⁻³ μm³，導入SVR與GPR後進一步降至0.93×10⁻³ μm³，相較未優化最大降低97.0%。PSD曲線平滑，中頻誤差合規率由46.1%提升至91.7%，有效改善中頻誤差，達成最佳化目標。

作者:羅昱翔、梁育禎、劉俊葳基於人工智慧之透鏡中頻誤差改善

近年來，光電產業發展推動光學元件加工效率與品質提升，其中氣囊式子孔徑拋光對中頻誤差控制至關重要。傳統螺旋路徑易產生波紋，提高中頻誤差，影響光學性能。本研究優化螺旋路徑模型，分析加工參數對中頻誤差功率譜密度（Power spectral density, PSD）曲線的影響。先利用反應曲面法初步優化參數，再結合支持向量迴歸（Support vector regression, SVR）與高斯過程迴歸（Gaussian processes regression, GPR）進行非線性區域優化。結果顯示，反應曲面最佳化後PSD RMSE值降至1.02×10⁻³ μm³，導入SVR與GPR後進一步降至0.93×10⁻³ μm³，相較未優化最大降低97.0%。PSD曲線平滑，中頻誤差合規率由46.1%提升至91.7%，有效改善中頻誤差，達成最佳化目標。

作者:梁育禎、許孝誠、劉俊葳基於雙物聯網與擴增實境之智慧定心量產製程人機互動決策系統

近年來，科技進步使人工智慧成為提升製程效能和生產良率的關鍵。針對光學玻璃鏡片定心製程，為降低人工經驗依賴、建立即時診斷機制及縮短調機時程，本研究開發基於雙物聯網架構與擴增實境（Augmented Reality, AR）等技術之人機互動智慧系統，系統建立之分類模型，可精確診斷異常。接著通過雙物聯網架構串聯控制系統與人工智慧（Artificial Intelligence, AI）模型將資料即時傳輸至AR遠端控制模組，進行視覺化決策，並透過遠端控制回饋至定心機台。根據系統實測結果，在真圓度＜0.01mm、裂邊＜E0.5 的目標規格下，生產良率可從64%提升至94%，且生產時間減少29.8%，證實系統對產線製程之效益。

作者:劉俊葳、張高德、翁志強、陳稺榤、李佑昇、伍必霈高精度光學透鏡電漿拋光技術

本研究在傳統拋光製程後利用微能量束作形狀修整技術，以達到高精度品質之玻璃透鏡。大氣電漿噴嘴設計為以RF射頻電源驅動噴流，並藉由內外雙套管的設計，於內管內導入電漿製程氣體，外管導入限制電漿束尺寸的惰性氣體，以此調控內外氣體種類以及流量，實現單一噴嘴以氣流侷限方式控制電漿中央區的範圍以調控能量束口徑狀態。本實驗同時採用光學放射光譜儀分析電漿物種隨氣體比例以及功率等參數的變化，了解電漿反應與表面狀態、蝕刻速率的關係，以獲得一最佳的拋光參數。由實驗結果得知玻璃透鏡表面之蝕刻率可控制在50 nm/min至450 nm/min，表面粗糙度可達< 5 nm。

作者:張高德、劉俊葳、陳鑾英、蔡志明高精度光學透鏡拋光設備專利分析

高表面品質之光學透鏡拋光設備為一個複雜的系統性工程，涵蓋精密機床、數控、製程技術、精密檢測和補償控制等機電控制各領域的專業知識，為一個國家的製造技術及設備發展能力的綜合表現。本文將以專利分析的角度，透過專利地圖分析，針對高精度透鏡拋光設備議題進行診斷及分析，並探討目前全球大廠專利發展及未來技術佈局的趨勢。