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歷史雜誌

依專輯名稱關鍵字搜尋或依年份搜尋，年份輸入範例202406

作者:李孟錡、江承翰、郭倩丞、劉旻忠、李正中捲對捲式鍍膜系統之光學監控技術

精密光學薄膜的製鍍，都需要精確的膜層厚度監控才能實現。而在捲對捲式鍍膜系統上架設一套高精密之光學監控系統顯得更為重要，本文陳述利用廣波域之穿透光譜來監控鍍製薄膜之光學特性，並且在連續製程中分析比對光譜變化以評估以及即時修正鍍膜參數，發揮光學監控的效果，提高捲對捲式鍍膜系統之產能以及鍍製高再現性的光學薄膜。

作者:王浩偉、張奕威、戴菁儀、李孟錡、陳韋豪鏡片波前量測及波前修正技術介紹

在半導體光學鏡片製造中，波前量測與波前修正技術扮演關鍵角色。量測鏡片後相對理想參考面的波前誤差，能確認出鏡片整體性能。以顯微鏡中的管鏡 (Tube Lens) 為例，本文利用四波剪切干涉技術 (Quadriwave Lateral Shearing Interferometry, QWLSI) 進行波前量測，透過干涉條紋分析、傅立葉頻域濾波、波前梯度回推與相位積分重建等流程，重建出波前資訊。此資訊不僅可判斷出鏡片像差，更可將誤差轉換成加工移除量，導引非接觸式加工方法。展望新一代大氣電漿與離子束修整技術，借波前修正手法，將有效修整鏡片表面形貌來降低波前誤差，提升光學元件成像品質。
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