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歷史雜誌

依專輯名稱關鍵字搜尋或依年份搜尋，年份輸入範例202406

作者:涂鐘範、簡麗珍、許勝雄、王浩偉、戴鴻名非接觸薄膜電性檢測技術與應用

非接觸式阻抗量測模組利用電磁原理，藉由電磁場與材料之耦合關係，達成非接觸量測待測物阻抗特性，相較於傳統探針接觸式量測樣品阻抗之方法，具有可避免樣品損傷，量測速度快，能在高速移動下量測待測物阻抗均勻性等優點，可應用於製程線上檢測，回饋製程參數調整。

作者:劉定坤、涂鐘範、陳永璿、葉清銘微型空氣粒子計數器開發

在光電半導體先進製程中，為防止空氣中落塵微粒造成線路斷路或層間沾黏，常以粒子計數器（particle counter）來監控預警環境空氣粒子數量變化。粒子計數器一般為機台移動式或手持式，以往是以此設備針對重點區域進行定時定點抽測。隨著工業4.0 的發展，粒子計數器須能符合產線可大量佈點的需求進行24 小時監控，甚至安裝至機台內量測。工研院量測技術發展中心基於產業的需求，開發具備長效/ 微型/ 物聯網設計之微型空氣粒子偵測器產品。