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歷史雜誌

依專輯名稱關鍵字搜尋或依年份搜尋，年份輸入範例202406

作者:陳學良、陳俊宏、李永春紅外光加熱與滾輪式接觸轉印技術應用於製作微奈米結構

滾輪式紅外光輔助金屬轉印技術採用一般紅外燈管當加熱源，將矽模仁上的次微米級圖形轉印到2cm×2cm 大小的石英基板上，而且分別有七種不同的圖形分布在石英基板上，搭配後續的蝕刻製作出石英模仁。最後利用此技術可以在石英基板上定義出100 nm的線寬，線與線之間距亦為100 nm。
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