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歷史雜誌

依專輯名稱關鍵字搜尋或依年份搜尋，年份輸入範例202406

作者:謝文宗、蘇濬賢、鄭文欽、黃駿、劉志宏、許文通次世代FPD大氣電漿光阻灰化系統

作者:劉志宏、黃駿、劉威霆常壓電漿束於矽蝕刻之應用

常壓電漿技術已廣泛使用於材料表面改質之相關應用產業，其技術包括鍍膜、蝕刻、表面粗化及活化，以賦與材料表面具有功能性（如親/疏水特性或具生物相容性等），而增加材料之附加價值。本文欲介紹工研院機械所開發之氟碳常壓電漿束，內容包括其加工技術特色、應用及與矽晶圓表面間之作用機制；此外，亦探討其電漿束於矽材蝕刻之應用可行性。

作者:劉志宏、黃駿、許文通、蔡禎輝、張所鋐以大氣電漿進行材料表面微米級圖案化之加工技術

材料表面特性可因其表面微奈米結構化而增加材料之產品應用性。本文欲介紹材料表面微奈米圖案化之應用及其相關加工技術，內容包括其加工技術特色、應用及與材料表面間之作用機制；此外，亦概述說明工研院機械所開發之大氣電漿製程設備技術及以其技術進行材料表面微米級圖案化之應用可行性。