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歷史雜誌

依專輯名稱關鍵字搜尋或依年份搜尋，年份輸入範例202406

作者:陳泰宏、莊傳勝、王登彥、王儀龍、林明達Parylene CVD反應器之氣流場模擬

有機阻氣材料聚對二甲苯（Parylene）之薄膜均勻度對於阻氣效果扮演一關鍵角色。本文即以計算流體力學（Computational Fluid Dynamics, CFD）模擬Parylene化學氣相沉積（Chemical Vapor Deposition, CVD）製程腔體之氣流場，以非結構網格建立模型，其中討論製程腔體中加入擋板（Shelter）及進排氣端位置對於氣流場均勻度之影響。由結果得知，於進排氣端加入擋板可以有效地改善腔體氣流場均勻度，主要原因在於擋板能使進排氣端之截面積增加，使兩側皆有一大面積緩衝區域抑制進排氣之擴散效應而達到流場均勻化；側端進氣與排氣之設計優於側端進氣與下端排氣設計，原因在於進排氣端位於同一截面較能減低垂直方向擴散所造成均勻度不佳之效應。應用數值模擬於腔體設計可以有效減少開發時間，進而提升產品競爭力。

作者:鄭貴元、謝志瑋、楊文賢、林玉(方方土)超薄塗佈技術與應用

超薄塗佈隨著OLED的快速發展逐漸受到重視，特別是溼式塗佈中的狹縫式塗佈。狹縫塗佈有高均勻性和高材料利用率的優點，因此被多個研究機構或是公司作為發展超薄塗佈的技術，從文獻和專利中可以發覺利用塗唇錯位或是上塗唇施加局部真空即可以達到薄層塗佈目的。工研院機械所利用計算流體力學模擬各種可能的超薄塗佈方式濕膜厚度之理論值已可達2 μm以下，並藉模擬所得之趨勢加速設備的開發和佈局相關核心專利。

作者:曹家誠、賴楷元、葉哲瑋、林文凱、Savas Yavuzkurt、劉耀先雙螺桿膨脹機流體力學分析

本研究使用商用計算流體力學軟體ANSYS-CFX，搭配專門生成旋轉機械動網格軟體TwinMesh，建立無油型雙螺桿膨脹機模型進行模擬。透過復盛股份有限公司提供之雙螺桿壓縮機，將其反轉作為膨脹機使用，模擬工作流體隨著轉子轉動，在膨脹過程的流場變化並計算輸出功等參數，同時分析效率表現。工作流體選用冷媒R-134a，以3bar的壓力經由轉子腔體膨脹後以1bar的壓力由出口處排出，轉速則設定為3600轉/分鐘。結果證實若入出口壓力比與內容積比沒有互相匹配時，將導致機器等熵效率下降。