機械工業網 - 機械產業的入口網站

:::

歷史雜誌

依專輯名稱關鍵字搜尋或依年份搜尋，年份輸入範例202406

作者:葉錦清、江素雲、葉立綸、戴熒美、羅一中OLED產業與設備技術發展趨勢分析

以LCD為主的平面顯示器產業成長幅度已經趨緩，且在2011年各液晶面板生產廠商幾乎都呈現巨額虧損，因此新興顯示技術備受期待。主動矩陣式有機發光二極體（AMOLED; Active Matrix Organic Light Emitting Diode）因為具有自發光特性、廣視角、對比高、反應速度快、結構輕薄等優點，所以在智慧行動裝置的滲透率快速提升，同時也創造了顯示器產業的一個新的夢想。根據IEK的研究報告顯示，2011年AMOLED面板出貨量超過九成是由三星電子供應，而且三星電子已經建立幾乎自主的AMOLED產業鏈，不僅如此，還有著龐大的出海口做支撐。AMOLED面板是一項高度依賴材料、設備的技術，而其中材料、設備兩項占面板成本比重約3:7，因此，設備在這個產品的重要性相對提高。

作者:董書屏、簡麗珍、陳建文、戴鴻名雷射干涉微影於光學尺製作技術

光學尺在工具機設備中是非常重要元件。本文主要介紹國內外光學尺中計量尺（光柵）製作技術。傳統上,主要以機械加工方式加工光柵。隨微影製程技術不斷進步，以光罩方式進行曝光成為主流。而干涉式微影方法是近幾年來發展的新技術。我們以干涉式微影方法製作1.6 μm週期長度計量尺（光柵）。

作者:陳佳盟、宋震國利用奈米壓印製作特定奈米結構之元件及其光電應用

由於近年來大多數消費型電子裝置的體積要求輕薄短小，所以其晶片之單位區域內的電子元件數量愈來愈多，致使各種奈米製造技術如雨後春筍般出現，其中以奈米壓印微影技術最為人所注意，由於其優異的特徵尺寸解析度與具大量生產的潛力；該技術可製作的表面結構幾何形狀包括柱形、錐形與線條形等，其中線條形具有相對較大的應用價值。目前國立清華大學動力機械工程學系的研究團隊利用連續滾壓式紫外線奈米壓印微影在軟性玻璃基板上已經能製作出線寬15奈米以下的金屬線柵偏光片。本文將摘要介紹奈米壓印微影及其較具代表性的相關應用。

作者:李永春、溫宗倫曲面光束筆微影技術應用於網格結構之無縫滾筒模仁的製作與滾印結果

本研究自行發展一無光罩式（mask-less）曲面光束筆微影技術，用於製作具網格結構之無接縫滾筒模仁。首先以自行架設之噴塗系統將稀釋光阻以霧狀型態均勻噴塗於直徑5 cm、長15 cm之金屬滾筒模仁；接著利用準分子雷射加工微透鏡（micro-lens）陣列，進行黃光微影蝕刻製程於微透鏡陣列上製作一維圓形開孔，藉由這一維圓孔微透鏡陣列將UV平行光聚焦成一微小光點，並搭配精密轉軸以及高精度平台於光阻層書寫網格以及任意圖形，再以顯影液去除額外部分；之後利用等向性蝕刻特性壓縮線寬同時將光阻圖形轉移至金屬模仁上，最後利用電解拋光改善模仁微結構的粗糙度，即成功地完成具網格結構之無接縫滾筒模仁。本研究所製作之無縫滾筒模仁可配合UV光固化滾印，快速、連續且大面積的滾印出具網格結構圖形的PET模片。