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歷史雜誌

依專輯名稱關鍵字搜尋或依年份搜尋，年份輸入範例202406

作者:林義鈞、黃智勇、陳冠州、李昌駿、劉彥禹、張哲培濺鍍設備之薄膜應力模擬分析技術

隨著半導體先進製程的開發，硬質光罩的好壞也是非常重要，由於氮化鈦具備高密度、低應力且硬度高的特性，目前半導體大廠都選用氮化鈦當作硬質光罩的材料，所以氮化鈦在半導體製程上的需求大幅增加；其中，濺鍍機台是主要用來製作氮化鈦薄膜。然而，氮化鈦鍍製受到腔體內製程溫度、壓力、流量等參數的影響，導致硬質光罩薄膜中會有殘留應力，易在蝕刻製程後變形，造成線路彎曲或圖案坍塌，因此殘留應力和翹曲量是值得深入探討。本文提出了一種製程導向模擬方法，用以估算最終的薄膜應力和翹曲量，透過模擬分析結果和實驗數據的殘留應力進行比較，模擬誤差率僅為2.75 %，之後利用薄膜應力數值，即可分析產生翹曲量。

作者:黃家宏、朱繼文、邱松茂、張凱傑、王俊傑、魏嘉民網球拍射出模具表面抗沾黏處理

台灣的網球拍產業，從民國50年代開始替國外代工木製的羽毛球拍開始，經歷鐵拍、鋁拍的階段，1978年由從國外引進碳纖維複合材料，開始製造碳拍之後，短短的幾年間，不但淘汰了木製球拍，改變了世界網球拍的產銷結構，成為網球拍王國，而且奠定了台灣在全球複合材料加工技術上重要的地位。在這個打造網球拍王國的過程中，從一開始因緣際會引進一些簡單的複合材料的加工概念，接著在一群技術英雄幾近土法煉鋼的努力開發下，發展出一套最具競爭力的滾筒纏繞法（filament drum winding）用以製造預浸布，再用獨創的吹氣熱壓成型（inner bladder pressure molding）的方式量產球拍，吹氣熱壓成型時膠體會因高溫與模具沾黏，因而影響射出品質。

本研究利用直流磁控濺鍍法在SKD61熱作工具鋼上沉積Ti基鍍膜並加入耐高溫如鎢、鉭、鋁等原子並通入反應性氮等氣體，利用SEM、GID-XRD以及TEM對薄膜的表面形貌、晶體結構及化學鍵結進行分析，最後再以熱反覆實驗測試鍍膜的熱穩定性。結果顯示，Ti基高溫鍍膜能有效提升SKD61基板之耐熱穩定性，經過線上實測在500 ℃溫度下，熱反覆實驗達500次不需使用離形劑可提升稼動率及產品品質。