機械工業網 - 機械產業的入口網站

:::

歷史雜誌

依專輯名稱關鍵字搜尋或依年份搜尋，年份輸入範例202406

作者:沈宗福、盧江溪、吳江龍、詹瑞麟、楊竣翔電子廠廠務真空泵變頻節能實務

電子廠中半導體與光電廠廠務設施中使用100 mbar粗略真空作為製程使用，傳統定速真空泵於壓力達到時，仍然以全速運轉，消耗相當大之電力，新型變頻真空泵於壓力達到時，會降低轉速，相對的消耗電力比傳統定速真空泵少很多，節能一般可達20 ~ 50%。本文主要針對近年來輔導國內電子廠進行馬達動力系統(真空泵系統)節能改善成為示範廠商的案例，說明改善的評估過程、改善手段與結果，以作為國內廠商導入真空泵系統節能之參考。