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作者:黃宏奕、徐敏軒、蔡輔安、莊智傑、廖洺漢光電製程與設備之熱效應技術

熱效應對於半導體光學元件以及半導體電子元件均佔有很重要的影響；對半導體電子元件而言，會影響到載子的擴散速度、元件可靠度、元件均勻度以及載子遷移率等；而對於半導體光電元件而言，則會影響到晶圓的撓曲量，進而破壞光電元件的發光效率與後續製程的穩定度，所以如何有效的掌握熱效應以及做對應的半導體機台設備設計，就變得非常重要，本文將會進行一系列的探討與先期研究。

作者:蔡承佐、胡曉自動化設備通訊規劃

優化產品品質和提升產能是製造業者的恒久目標，這個目標的實現離不開通訊標準來收集大量的設備訊息，考慮到使用非標準的設備通訊介面是一種資源的浪費，應充分利用現有標準進行規範。SEMI SECS/GEM在半導體產業的成功普及為自動化產業的規範化生產提供了一個參考模式，其它一些自動化產業應也可以結合自身的產業需求考慮採用SEMI規範。本文介紹了包括SECS/GEM和EDA在內的SEMI規範，以及如何通過Modbus擷取資料並與SECS訊息作連結的實作介紹。

作者:陳冠州、黃智勇氣體噴灑模組於光電鍍膜設備之應用

國內光電及半導體產業發展已累積有40 年的歷史，其上、中、下游產業結構已相當完整，是我國持續發展推動的重點產業，亦是全球創新研發的新契機所在。光電半導體之真空CVD鍍膜為其重要的關鍵製程，其設備中使用之氣體噴灑模組更是為其關鍵零組件，攸關腔體內製程氣體之層流均佈而使薄膜能均勻沉積，並掌握鍍膜的品質與良率。本文針對各種氣體噴灑模組應用於CVD鍍膜設備之型式及設計加以探討，並介紹工研院機械所開發之氣體噴灑模組研發技術現況，以期協助國內建立光電半導體鍍膜設備產業與其關鍵零組件之發展，奠定「技術產品國產化、產業價值高值化」的發展目標。

作者:韓孟儒、孫彥碩無塵室AGV產品發展概況

本文以無塵室無人搬運車之研究開發為例，針對無塵室無人搬運車在應用分類、市場需求、技術特點以及產業應用趨勢作簡要介紹。此外，在無塵室運載部分之技術特點方面，說明其潔淨度要求、防震及防傾倒評估與安全規範；在未來產業應用趨勢方面則針對搬運無人化、無軌導引等相關需求作說明。

作者:邱琬雯光電半導體新應用及其設備產業發展趨勢

當LED微縮為Micro LED，將不再是單純的發光元件，而將變身為具有核心技術的高附加價值產品。Micro LED為看好之次世代顯示技術，其高亮度、高對比、高反應速率及強光可視、強健耐候性之特性，在新興成長之顯示應用領域具有極大之優勢。然而良率、成本為進入商業量產市場之關鍵。目前最關鍵之製程為巨量轉移，其精度、穩定性之要求對設備而言是極大之挑戰。此外，在檢測、缺陷修補亦是設備投入的重點。Micro LED為高度整合之產業，台灣具備LED、顯示器、半導體及電子設備之完整產業鏈，擁有厚實之技術實力，有機會在次世代顯示領域奪得一席之地。

作者:黃仲宏晶圓機器人的市佔統計與發展趨勢

半導體生產線上，使用電腦控制的自動化已盛行多年。特別是在矽晶圓上做出半導體的前段製程中的自動搬送機與機器人，在製程的串接上發揮了很大的功用。從晶圓倉庫到生產線的搬運、將半成品晶圓從無塵室內的某一製程搬送到另一個製程、或是同樣一個製程內對某一裝置的裝卸載等，甚至是將完成的晶圓搬送到下一個晶圓檢驗製程的搬送作業，均由自動搬送機或機器人，以幾乎完全自動化的方式達成，在半導體製程設備中所使用的晶圓機器人（Wafer Robot），於晶圓片的移載及傳送，具有相當的重要性，機器人在半導體設備裡是個「重要的配角」。在上述的認知和半導體設備的市場規模研究基礎下，我們以實際訪廠、問卷，以及統計手法得到2017年~2021年臺灣半導體廠前後段製程設備所導入的機器人品牌與數量。除了列出市佔排名外，並提出二個觀點，一是半導體製程設備商為了讓自己的產品更有競爭力，會朝向提供更Total Solutions（整合功能）的解決方案給半導體製造商。二是做晶圓機器人的公司將不只是提供機器人，而是提供成機，也就是EFEM（Equipment Front End Module，設備前端模組）、Sorter（分揀機）一起做，亦即不只單賣機器人，而是將機器人搭配Sorter、EFEM、Aligner（對準器）一起出貨給半導體設備商。

作者:江柏風全球半導體設備市場趨勢分析與展望

作者:吳志平傳統產業需要什麼樣的智慧工廠?

智慧工廠不等於關燈工廠，也不等於無人工廠，而是人性化的智慧工廠，以”人”為依歸與主角的工廠，利用資料流自動化讓員工的作業有所依循，串起資料的斷鏈，不再依靠EXCEL人工處理的報表，讓駕駛艙式的儀錶板報表作為管理階層的依據，讓監控室成為資料彙整的戰情中心，協助管理者進行判斷與決策；建構生產管理系統成為生產資訊流的主動脈，讓生產作業自動化，設備與物料具備基本的自動流轉能力，解決人力不足的問題，讓精實管理自動化，解決經驗傳承的困擾，發現生產過程中隱藏的浪費。同時，讓機聯網成為智慧工廠建構的第一步，從底層奠定紮實的基礎。

作者:邱琬雯臺灣機械產業現況與趨勢展望

2017年全球經濟復甦腳步持續且更加穩固，油價及匯率預估趨於穩定。2017年臺灣整體機械產業產值約新台幣9,483億元，較2016年成長5.7%；2017年台灣工具機總產值1,374億元，較2016年成長13.4%；2017年臺灣半導體及面板生產設備(含相關零組件)產值預估為新台幣1,493億元，較2016年成長15.1%；機械傳動元件及流體機械次產業項目，亦均有二位數以上之成長率，分別為30.2%及11.3%之成長。

作者:林俞廷、鄭淙仁、林志浩、陳品均、王靖惠精密伺服成形系統之國內自主整合規畫與開發

國內金屬成形產業與電子零組件業、精密零組件產業等息息相關，近年因產品周期性短與精密度要求提高，日本已多年使用具可多工彈性的伺服成形系統，如上所述，參考成形工具機領先國在伺服沖床應用日漸增加，作為因應現今微細、精密成形部品需求提高，本研究將規畫設計以精密兼具多種應用曲線的伺服沖壓成形設備開發。

本文思及未來國內需求潛力，中心結合國內現有機電整合能量，先期考量模具業者於沖床上的使用機制，規畫以台達控制器作為開發伺服成形操作主要系統核心；經由輸入馬達位置與速度控制，以帶動沖床機構所對應之彎曲、鍛壓、引伸與沖切等四種成形曲線，並搭配精密微型用的沖床設計開發，由國內自行開發出精微伺服沖床，以提供國內精密零件業者之使用需求。

作者:邱琬雯全球顯示器設備市場及產業發展趨勢

LCD設備市場自2018年將逐年下滑，2020年預估為48億美元(不含服務市場)，2020~2022年，LCD設備市場將以目前中國大陸10.5/11代產線擴建、產能、效率、良率之提升需求為主，已無新的建廠計畫需求。因中美貿易戰造成2019年OLED設備需求大幅下滑，2020年之OLED設備需求再度回升，預估為87.2億美元(不含服務市場)，2021年雖有變動調整，但未來幾年將以OLED設備需求市場為主。其中，中國大陸為最大之顯示器設備市場，占有70%以上之需求規模，其次為韓國。

作者:李建毅、楊善荏、莊佳瑾、廖孟秋、黃鵬緒、蔡孟勳、簡嘉宏AI賦能工具機數位雙生平台

近年來國際工具機製造商如 DMG-MORI、MAZAK 皆陸續導入邊緣人工智慧（Edge AI），強化設備的健康狀態監控、異常診斷與製程優化等提升智慧設備。然而，控制器受限於格式封閉且運算效能與外接硬體成本考量，使得AI技術難以在工廠大規模落地，為解決此瓶頸，工研院機械所偕同國立臺灣大學機械系蔡孟勳教授團隊以及新代科技三方合作，建置示範線樣板，以AIEmbedded CNC （Computer Numerical Control）控制器技術，將AI模型直接部署至控制器內，與原有的控制器核心協同運作，並建置工具機邊緣驗證平台，導入國內控制器實測資料驗證AI模型的可行性，降低AIApps上機測試成本，以先驗證再導入的標準化路徑，提供AI模型自工具機數位雙生平台整合的虛擬建模技術，再以AI Embedded CNC控制器技術的控制器端部署到最後於臺中工研院智慧製造驗證場域實機驗證的完整技術路徑，為AI賦能工具機的實用化與產業化奠定基礎。

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