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歷史雜誌

依專輯名稱關鍵字搜尋或依年份搜尋，年份輸入範例202406

作者:徐瑞美、何柏慶、黃菘宏大氣壓電漿技術及於光電薄膜產業之應用

綠色建材近年來在節能減碳以及環境保護受到重視的趨勢帶動下，其技術與市場規模均有顯著進展，而大氣壓電漿可在大氣環境下操作，無需昂貴真空設備成本，可減少大量能源消耗，並適用於金屬氧化物材料鍍膜，表面自清潔、殺菌、防汙等各項應用，因此非常適合應用於綠色建材鍍膜的製程，本文介紹大氣壓電漿於綠色建材包括鍍膜與表面處理的各種應用，並針對大氣壓電漿使用於節能鍍膜的優勢作分析比較，並簡介目前工研院機械所發展之各項大氣壓電漿節能鍍膜技術，針對目前技術發展現況與未來展望逐一說明。

作者:張加強綠色科技創新－低溫大氣壓電漿鍍膜技術

這是在講一群人如何利用大自然的力量與現象，達到創新綠色科技的故事。這個故事更重要的核心，在於如何發揮專業與堅持，排除種種的障礙，讓低溫大氣壓電漿鍍膜設備技術實現，並且突破國際先進光電設備產業的技術瓶頸，在國際先進設備技術建立里程碑，是少數是由台灣獨家創造的新發明。這個設備技術接連得到工研院傑出研究獎金牌、國家發明創作獎以及國家產業創新希望獎的肯定，接著登上國際舞台，得到美國R&D 100科技獎，以及華爾街日報科技創新獎（TIA, Technology Innovation Award）的殊榮。

本文將介紹低溫大氣壓電漿技術的特色、產業應用機會以及得獎背後的故事。

作者:翁志強、徐瑞美抗污性及自潔式鍍膜技術

抗汙、自潔鍍膜在近年來受到廣泛的探討，在2012年，此功能性鍍膜的市場產值約有20億美金。抗汙以及自潔性表面可以是超疏水或者超親水。因應未來大面積、低成本且快速鍍膜處理需求，工研院運用大氣壓電漿鍍膜技術，成功發展出超疏水鍍層以及具光觸媒效果的超親水二氧化鈦鍍層，可應用於抗汙以及自潔性應用，例如建築及建材鍍膜等。

作者:陳志明、張瀛方、偕睿仁大氣電漿技術在透明導電高分子膜圖案化之應用

根據Nanomarkets（2008）的研究報告[1]指出，到2015年氧化銦錫（Indium Tin Oxide, ITO）的使用比例將會下降至45 %，並由導電高分子（18 %）、奈米碳管（15 %）與奈米材料（9 %）等材料取代。除了銦元素蘊藏量有限及成本等因素考量外，最重要的是可撓性的產品需求趨勢使然。圖案化是任何一種材料應用於投射式電容觸控元件的必要關鍵製程，本文將針對導電高分子膜圖案化技術作介紹。

作者:楊國煇、蘇濬賢、周大鑫大氣壓電漿鍍膜與模擬分析技術簡介

大氣壓電漿技術已廣泛地應用於不同領域，尤以材料或零件的表面處理為最常見的技術之一，然而大氣壓電漿於鍍膜應用而言，還未能有效的克服如大面積鍍膜均勻度與鍍膜速率等幾項工業需求；本文主要針對介電層屏蔽放電（Dielectric barrier discharge, DBD）型式於鍍膜方面之發展進行簡介，並探討噴射式大氣電漿流場與熱場對鍍膜過程之影響。

作者:王明德製程綠能化－低溫大氣壓電漿技術創新應用

當近來紀錄片「看見台灣」掀起國內新一波保護國土熱潮，也讓民眾開始從另類視角來檢視山川河海多年來所承受的種種傷害與威脅，進而期待政府與相關民間業者，面對長久過度發展產業下，同時帶來的污染及環境威脅。在產業與經濟發展密不可分的關係下，台灣未來經濟發展對於綠色先進製程技術之需求日益殷切，需這些技術的研發成果可發生重大影響力，無疑更值得我們重視。

作者:翁志強、徐瑞美大氣壓電漿於金屬表面還原之應用

金屬雙極板具有低成本與高機械強度的特性，但是質子交換膜燃料電池的金屬雙極板因為操作在溫度較高的硫酸環境中，所以金屬板會遇到腐蝕的問題。透過雷射披覆碳膜於金屬雙極板上可提供抗腐蝕之保護。

作者:翁志強、劉展羽、李祐昇、丁嘉仁、張高德大氣電漿輔助鑽石拋光技術

作者:施宏欣、戴呈瑋、黃昆平、胡啟章、許彩玲、詹禮安、林勝亞、方家振、李俊龍石墨烯鋰離子電容器技術研究

本文以微波電漿火炬化學氣相沉積（Microwave Plasma Torch Chemical Vapor Deposition, MPT CVD）直接成長均勻奈米石墨烯壁（Graphene nanowalls, GNW）於酸蝕刻之鈦金屬片上，奈米石墨烯壁具有良好的附著性，不易從金屬片上脫落。此外，以電化學方式使用鋰離子電解液（1M LiPF6）活化奈米石墨烯壁可以提高其比電容值約70 %左右。使用奈米石墨烯壁作為電極，則最高電位能承受至4.2 V（vs. Li+/Li），並表現出較方正的充放電曲線且最佳石墨烯奈米壁在有機電解質之工作電位範圍至少拓展至2 V。以活化奈米石墨烯壁正極搭配預鋰化軟碳負極組成鋰離子電容器（Lithium ion capacitors, LIC）的全電池，元件工作上限電位可至4.0 V，庫倫效率為96.4%。

作者:張存均、何亞奇、吳采亮低碳工業熱製程—高功率精密電漿加熱系統模擬研究

我國工業製造產生的溫室氣體約占全國排放總量的51.14%。目前改善措施包括使用再生能源、設備汰舊換新、工業鍋爐燃料轉換、加強減碳技術輔導及智慧化能源管理等。然而許多工業製程需要高溫，傳統上這是通過燃燒石化燃料來實現，而開發替代工藝來減少這些製程中的溫室氣體排放將極具有挑戰性。近年高溫工業製程的一個潛在替代方案是使用微波電離技術將石化燃料燃燒器切換為由電力產生的熱電漿。本文介紹了在大氣壓下運作的2.45 GHz微波電漿源的電磁優化模擬研究。並對使用電漿火炬與石化燃料的能源成本與排放進行了評估比較。

作者:翁志強、李祐昇、丁嘉仁、張高德、楊志強、曾永標大面積大氣電漿改善輪磨加工後碳化矽晶圓翹曲量的先期研究

碳化矽（SiC）是一種寬帶隙半導體材料，是克服矽在高壓/高功率器件中局限性的具吸引力候選材料，已廣泛的被應用在儲能、風電、太陽能、電動車等對高功率、高壓具高度要求的產業。然而，眾所周知，碳化矽因其超硬、脆性和熱化學穩定性的固有特性而難以進行高效和平滑的加工。再者，因應SiC晶圓尺寸的放大，具有高材料移除效率的輪磨製程逐漸成為加工的主流之一。然而，由於塑性變形和斷裂等「應力誘導」現象，研磨過程不可避免地會在晶圓表面下方引入損傷層。本文嘗試以自行發展的大氣電漿乾式蝕刻設備，去除輪磨加工應力導致的翹曲。實驗初步結果顯示大氣電漿設備可快速且有效的將晶圓翹曲量由單面輪磨(採用8000號砂輪)後的110-150 µm，降回10-20 µm（輪磨前的晶圓翹曲量）。