機械工業網 - 機械產業的入口網站

作者:賴識翔、王慶鈞、莊賦祥撓性OLED製作技術

耗電性、可撓性，且可隨設計需求而調整的演色性與色溫等特性，預估2020年可達30億美元之產值。目前在撓性OLED元件製程上，最關鍵之製程技術在於具低水氣穿透率（WVTR）之封裝奈米薄膜製程上，工研院機械所提出創新概念之原子層沉積技術可應用於高阻水氣之奈米級封裝薄膜，其水氣穿透率為1.37×10-6 g/ m2day。可撓性OLED照明元件之功率效率達32 lm/W，基板撓曲曲率半徑可達2 cm，撓曲次數可達1000次以上。

作者:賴識翔、林龔樑、林義鈞、董福慶先進OLED薄膜封裝技術

OLED照明元件為一平面式面光源，並具有低耗電性及可撓性，且可隨設計需求而調整的演色性與色溫等特性，預估2020年全球可達30億美元之產值。可撓性OLED元件最關鍵的製程技術在於具低水氣穿透率（WVTR）之封裝奈米薄膜製程，工研院機械所提出創新概念之原子層沉積技術製作高阻水氣的奈米級封裝薄膜，其製程溫度小於100℃，薄膜厚度亦小於100 nm，水氣穿透率為1.37×10-6 g/day/m2，並已成功應用於OLED元件上。

作者:周卓煇、蘇郁婷、何哲凱、蔣季衡啟動照明文藝復興的燭光OLED

過高的藍或白光，威脅著人眼、生理健康、文物、生態系統與暗夜；然而，予人溫暖感受而無藍害的蠟燭，卻有耗能、燙傷、火災、閃爍、冒黑煙、耗氧、溫室氣體排放等問題；在使用多個燭光互補色發光體，我們得以應用OLED技術，發出模仿蠟燭的光來；從視網膜保護的角度而言，燭光OLED比冷白的CFL、LED和OLED至少安全90倍；從退黑激素自然分泌的角度來看，則又更好20倍；此外，已可看到每瓦90流明的功效，幾乎是白熾燈泡的9倍，蠟燭的900倍；待成功放大商業化後，此燭光OLED將可大量取代現有富含藍光的照明燈具以及蠟燭，並啟動照明復興（Lighting Renaissance）；除了燭光OLED之外，本文亦將介紹:光科技史上最尷尬的一年、電力照明引發乳癌、對抗乳癌的對策、夜光對攝護腺的威脅、白光看書更易傷眼、醫學專家的建議等資訊。

作者:林穎毅光電科技產業發展趨勢與應用—光電產業轉型-影像感測、雷射應用引領風騷

2015年台灣光電產業總產值達1兆9,133億新台幣，較2014年的2兆784億銳減了8%。這將近兩兆新台幣的產值約是600億美元，佔有全球光電產值6,135億美元的10%，但也較前一年下降了兩個百分點。台灣光電產值下滑乃肇因平面顯示面板遭逢景氣循環、鄰國競爭者崛起、產品生命週期殆盡、技術未能創新等因素的影響。展望未來3年，台灣光電產業尚在轉型期當中，產業有可能停滯在1兆8千億左右的規模。未來台灣光電產業必須在光電材料、製程設備等技術方面做持續性的耕耘與創新，並跨領域應用在物聯網、國防保全、綠能、健康照護等領域，方可再闢另一波產品生命週期。

作者:賴識翔、林義鈞高阻水氣薄膜封裝技術於OLED照明之應用

預估撓性OLED市場規模到2020年可達176億美元，針對可撓性有機發光二極體（organic light-emitting diode,OLED）元件最關鍵之技術在於低水氣穿透率（water vapor transmission rate, WVTR）的封裝奈米薄膜製程上。工研院機械所提出創新的薄膜封裝製程設備概念，以原子層沉積技術製作高阻水氣之奈米級薄膜，其製程溫度小於100C，且薄膜厚度小於100 nm，其水氣穿透率小於5×10-6 g/day/m2，並已成功應用於OLED元件上。

作者:邱琬雯光電半導體新應用及其設備產業發展趨勢

當LED微縮為Micro LED，將不再是單純的發光元件，而將變身為具有核心技術的高附加價值產品。Micro LED為看好之次世代顯示技術，其高亮度、高對比、高反應速率及強光可視、強健耐候性之特性，在新興成長之顯示應用領域具有極大之優勢。然而良率、成本為進入商業量產市場之關鍵。目前最關鍵之製程為巨量轉移，其精度、穩定性之要求對設備而言是極大之挑戰。此外，在檢測、缺陷修補亦是設備投入的重點。Micro LED為高度整合之產業，台灣具備LED、顯示器、半導體及電子設備之完整產業鏈，擁有厚實之技術實力，有機會在次世代顯示領域奪得一席之地。

作者:董福慶、賴識翔、王亘黼長壽命色溫可調變OLED照明技術

OLED ( Organic Light-Emitting Diode ) 的技術發展下，色溫可調變OLED照明元件，其光色與色溫可以像太陽光一般，從黎明低色溫變化至正午豔陽的高色溫，且不同於LED以窄波段藍光為主色調發光。OLED的發光體從深紅光至深藍光，均可獨立運作；在結合高波段發光體之後，其發光光譜類似黑體輻射之連續寬廣的光譜，色域可涵蓋整個黑體的輻射發光曲線，不需像LED額外藉螢光粉來調整光色。本文就色溫對人的影響與長壽命色溫可調變OLED及薄膜封裝技術發展進行介紹。

作者:賴識翔、鄭皓蓬、林義鈞、董福慶、唐謙仁、韓建遠薄膜光學特性之分析模組技術

作者:賴識翔、董福慶、林義鈞、鄭皓蓬多模式薄膜沉積製程設備模組技術於OLED照明之應用

可撓性OLED元件最關鍵的製程技術在於具低水氣穿透率(WVTR)之封裝薄膜，工研院機械所已獲得「多模式薄膜沉積設備以及薄膜沉積方法」之專利，在單一腔體內以原子層沉積技術與電漿輔助化學沉積技術製作高阻水氣薄膜，其薄膜特性達到OLED封裝高阻水氣之嚴苛要求( WVTR 小於 5 x 10-6 g/m2 /day)，此專利技術可應用在現今先進之OLED顯示與照明產業的薄膜封裝，大幅降低封裝成本與提高元件壽命及品質。

作者:賴識翔、董福慶、林義鈞、鄭皓蓬應用於OLED照明之薄膜沉積設備模組技術

OLED照明是一種平面的光源，亮度與色溫具可調且具高演色性，但OLED元件仍有許多需改進的地方，成本過高便是其中之一，因此OLED關鍵製程設備之開發是刻不容緩的。工研院機械所提出創新概念之面型蒸鍍源技術，成功地開發出面型蒸鍍驗證平台設備。以此新穎面型蒸鍍源設備技術成功驗證膜厚不均勻度＜± 5 %、材料利用率可達70 %及製作出高演色指數＞ 80之OLED元件等。此外，工研院機械所亦提出創新的薄膜封裝製程設備概念，以原子層沉積技術製作高阻水氣之奈米級薄膜，其製程溫度小於100℃，且薄膜厚度小於100 nm，其水氣穿透率小於5×10-6 g/m2/day，並已成功應用於OLED元件上。

作者:葉錦清2017高科技設備產業回顧與展望

2017年由於快閃記憶體（NAND flash）與動態隨機記憶體（dynamic random access memory, DRAM）缺貨，帶動半導體營收提昇。而半導體設備則是受到半導體成長的影響，估計2017全球半導體設備產值將達696億美元，相較於2016年成長29.2%。這波成長趨勢將持續到2018年，但成長趨勢會趨緩，估計2018年半導體設備產值將成長4.4%。

在2016年下半年開始，韓國廠商傾全力資源投入主動矩陣有機發光二極體（active matrix organic light emitting diode, AMOLED）顯示器生產研發，中國大陸廠商亦大規模投注資金。蘋果公司智慧型手機之規劃導入採用主動矩陣有機發光二極體，也帶動相關製造設備的成長。UBI Research原本估計2017~2021年之間，有機發光二極製造設備市場預估為439億美元，因為廠商的大舉投入，而將預測調高為849億美元。

作者:林義鈞、陳冠州、王慶鈞Micro LED高溫磊晶加熱模組技術

因為磊晶設備加熱器（鎢絲或錸片）皆會有發熱體轉折處間隙過大，造成溫度不均勻現象，或是發熱體壽命較短等問題，微間距加熱模組是採用陶瓷材料當作發熱體，具備高耐蝕性、熱傳導係數大及熱膨脹係數小等特性，高溫下沒有outgassing問題，線圈間距尺寸最小約1.5 mm而達到幾乎整面發熱的效果，大幅提升溫度均勻性。本所完成設計開發Micro LED使用的微間距加熱模組，已安裝上MOCVD機台，後續將實際上機驗證其加熱功能與磊晶製程。

歷史雜誌