機械工業網 - 機械產業的入口網站

:::

歷史雜誌

依專輯名稱關鍵字搜尋或依年份搜尋，年份輸入範例202406

作者:康淵油液靜壓導螺桿技術探討

液靜壓導螺桿系統的油腔製作於螺母上，螺母的油腔使用孔口、毛細管的定常節流器或等流量補償壓力以及使用單向薄膜型式、單向滑桿型式的可變節流器，本文探討液靜壓導螺桿技術的理論及實務，介紹此系統(與軸承)設計、分析及製作方法、系統之測試方法，以及介紹液靜壓導螺桿系統驗證方案的規劃。

作者:梁沐旺、林士欽、江源遠低壓化學氣相沉積應用技術

本文主要是介紹低壓化學氣相沉積設備與高鍍率製程技術，乃藉由氣體擴散裝置（showerhead）及前驅物氣化裝置，經製程參數的設定調整，如調控壓力、基板溫度、基板與噴灑曝氣板（showerhead）距離設定、前驅物DEZn /H2O /B2H6、鍍膜時間…等，驗證使BZO透明導電膜鍍率達120 nm/min以上時，薄膜其霧度約20 %（波長550 nm），片電阻值＜10歐姆/sq，透明度80 %以上（波長400－800 nm），膜厚不均勻性小於10 %。

作者:許哲誠、林龔樑、蔡豐羽原子層沉積鍍膜應用技術

透明導電薄膜（Transparent Conductive Film, TCF）為太陽能電池等光電元件不可或缺的一部分。目前元件的發展已逐步由平面結構邁向具備高深寬比與高表面積的奈米結構，但傳統的透明導電薄膜製程技術並無法於3D的結構上均勻鍍膜。原子層沉積技術（atomic layer deposition, ALD）具有高表面覆蓋性，可於奈米結構上均勻鍍膜，並可精準地控制膜厚及薄膜組成。此外，其低溫製程、低薄膜缺陷密度等優點，使其於可撓式光電元件的開發上極具發展潛力。

作者:何世湧觸控材料發展與趨勢分析

2012年全球所需觸控相關的材料市場即達28.7億美金，預估2013年仍將成長至32.8億美金，隨著觸控薄型化趨勢，技術轉往單層玻璃感測器（One Glass Solution, OGS）與Film Type發展，其中氧化銦錫薄膜（Indium Tin Oxide Film, ITO Film）以及光學膠（Optically Clear Adhesive, OCA） /液態光學膠（Optically Clear Resin, OCR）皆是不可或缺的主要材料，佔其市場比重頗大。而具觸控功能之產品亦有大型化趨勢，孕育而生的作業軟體、遊戲將刺激硬體的實際銷售，在人們開始改變電子產品使用習慣的時刻，上游材料的商機值得把握。

作者:張津魁、李韋辰、鄭智傑、黃國唐機器視覺用於光罩薄膜微粒檢測技術

光罩是半導體製造過程中重要的環節。光罩本身為求光線的穿透能力高，所以以純度極高的石英玻璃製造而成，使得一般光線極容易穿透。並在另一面鍍上鉻膜，在鉻膜上製造圖形。當光罩上的微塵過大時，將會成像於晶圓上，形成缺陷，造成良率上極大的問題。本研究將以光學元件為主，最主要在於反射光的層別區隔，利用機器視覺進行非接觸式的檢測光罩薄膜表面微塵，搭配線性掃瞄相機與精密移動平台快速的掃描光罩薄膜表面，並及時成像進行檢測。

作者:曾銘宏、陳冠綸、林龔樑、王慶鈞、蔡豐羽ALD有機薄膜沉積技術

原子層沉積技術（atomic layer deposition，簡稱ALD）不但具有高表面覆蓋性、低溫製程、低薄膜缺陷密度、可大面積與大量生產等優點，且可沈積的材料相當多元。過去的ALD研究所製備的材料以無機物為主，近幾年，開始有研究使用ALD技術製備有機物薄膜，並已有相當多元且傑出的成果與應用，包括使用ALD製備光阻薄膜、透明導電膜、OLED之發光層、應力緩衝層、阻氣薄膜、絕熱薄膜、氣體選擇膜、與高強度高分子等，有相當優異之成果。有鑑於ALD製備有機膜不但具有新穎性，且在各領域皆有高度應用潛力，本文將針對ALD有機膜目前現有的研究與應用進行簡介，以期能讓大家對此技術能有進一步的認識與了解。

作者:蘇濬賢、楊國煇、蔡陳德、張瀛方、翁志強大氣電漿大面積薄膜沉積技術

電漿技術發展至今已廣泛應用於各產業，特別於光電產業之製程應用為最；然而，習知的電漿技術需於真空環境下進行，對於欲處理之工件會受限於真空腔體之尺寸大小。本文乃介紹工研院機械所於大氣壓電漿（Atmospheric Pressure Plasma，APP）製程設備技術之開發及其應用，內容包括大氣壓電漿技術之特色與比較、電漿機構設計與分析模擬及針對大面積薄膜沉積於光電產業之應用。

作者:何世湧透明導電膜取代之機會與挑戰

2014年全球觸控面板出貨片數年成長13.7 %達17.2億片，市場規模卻下滑1.6 %達284億美元，受到觸控產品大尺寸化與穿戴式產品的趨勢影響，使得透明導電膜開始轉往更低面阻值的取代性材料方向發展，目前取代ITO Film的透明導電薄膜，可分為五大種類：石墨烯（Graphene）、奈米碳管（Carbon Nano Tubes; CNT）、奈米銀導線（AgNW）、金屬網格（Metal Mesh）、導電高分子。五大類之中商品化程度最高的兩類為奈米銀導線（AgNW）、金屬網格（Metal Mesh），而這兩者之中以金屬網格導入的終端品牌與產品種類佔多數。

作者:胡杰、黃健銘雷射誘發金屬表面彩色特性探討

在本文中我們探討許多雷射加工參數對彩色金屬雕刻的影響，並且藉由了解脈衝雷射在金屬表面的作用時間與溫度的關係式，進而了解不同色度值的變化，並且藉由化學熱動力的方法對於不同顏色的金屬結構與成分進行探討，進而希望能使金屬彩色雕刻達到工業化的效果。

作者:黃俊杰、劉旺林、薛羽利超音波噴塗製程與設備技術

塗佈製程技術可應用之領域甚廣，包括光電與半導體產業、民生用品與醫療器材等產業。塗佈技術發展可分為乾式與濕式製程兩大主軸，其濕式塗佈製程相對於乾式製程，在成本及產率具有極大競爭力；其中，濕式塗佈製程又以超音波噴塗技術最備受矚目。超音波噴塗技術具有高材料利用率、大面積、均勻度佳，且不同於傳統二流體式噴塗技術使得噴嘴不易產生堵塞之情況。超音波噴塗技術的發展，可使國內於非真空鍍膜製程產業真正紮根，以降低對國外設備之依賴。

作者:曾銘宏、許哲誠、林龔樑、王慶鈞、蔡豐羽撓性光電元件封裝技術

隨著智慧行動裝置與可穿戴裝置的快速發展，輕薄之可撓式光電元件將是未來發展主力，其商品化成功與否之關鍵在於可撓式封裝技術之開發。由於可撓光電元件封裝需求極為嚴苛，要達到元件封裝需求與高撓曲度極為困難。目前已被驗證之可撓式光電元件封裝方式有使用超薄玻璃、預鍍阻氣層之高分子基板、薄膜封裝等方式。本文將針對各種可撓式封裝技術進行介紹，並比較不同技術之間的差異，以期能讓大家有更進一步的了解。

作者:蘇濬賢、楊國煇、林冠廷、黃萌祺噴霧技術發展及其應用

噴霧技術可以透過多種方法來達成。最常見的方法是透過噴嘴的流道將液體以不同機械力加壓後氣化，形成非常細微的液滴。噴霧技術廣泛的應用於環境降溫加濕除臭、農業噴灑、包裝工業、印刷電路板製程等等。本文介紹幾種常見的噴霧技術：包括壓力式噴霧、超音波霧化技術及靜電噴塗及其應用。