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歷史雜誌

依專輯名稱關鍵字搜尋或依年份搜尋，年份輸入範例202406

作者:林錦德、王仁傑、黃少谷智慧化加工製程優化技術與可靠度

作者:黃宏奕、徐敏軒、蔡輔安、莊智傑、廖洺漢光電製程與設備之熱效應技術

作者:蔡伶郁、偕睿仁、廖錦棋、王俊傑精密加工智能化與製程參數數位化之監控系統

作者:陳信元、呂政芳、黃志豪、李美津、張仁耀、徐振凱、鄭儀誠、陳俊彥、黃宗皇現代製程監控平台技術發展與應用

作者:蔡坤諭、李建霖新世代奈米微影製程設備發展趨勢與展望

作者:張雯琪半導體製程重中之重-微影技術的突破與創新

微影製程的目的是為了在晶圓上製作圖樣，隨著電晶體密度更高，結構更細緻、更複雜，使得曝光、光罩和相對應的量檢測設備更加重要。全球的領導設備商，都希望在下世代微影製程所需的關鍵模組或技術可以突破與創新。中國和韓國也積極改變關鍵設備依賴進口的現況，投入曝光機、光罩保護膜自動化設備等領域。我國在微影設備目前以學校和法人團隊開發為主，廠商投入不多。因此本文期待透過呈現曝光設備市場和技術發展趨勢、全球微影製程生態系，比較中國、韓國、臺灣微影製程設備技術動態，協助我國有意願投資微影製程之業者，找到適合發展的產品與機會。

作者:莊佳瑾、林豈臣、蔡淳宇、黃少谷智慧製造軟硬體技術整合及其應用

作者:楊俊彬、江嘉偉、陳柏均、劉志雄、張燦勳拘束式鍛粗模具應用於熱鍛製程之預成形工序研究

環首螺栓（eye-bolt）主要用於機械產業上，因為鍛件體積分佈差異大，傳統熱間製程一般先進行前擠預成形做體積分配，重新加熱，再進行完成鍛，接著沖孔+切邊。本研究規劃以Ф11 mm棒材下料，進行拘束式鍛粗預成形、有毛邊完成鍛、沖孔+切邊，探討製程可行性。首先藉由成形軟體DEFORM－3D進行熱間鍛造之模擬，探討材料流動，成形負荷與製程設計。根據模擬結果，進行實體模具之開發與實際測試，建立出較佳之製程參數及設計。結果顯示，本研究實際熱間鍛造成形狀況與模擬相符。鍛件可完全成形，無缺陷。拘束式鍛粗預形熱鍛製程，可將長俓比5.45:1之材料一次鍛粗成形，總負荷為106 ton。最終鍛造完成後，比傳統製程節省15%之材料。本研究顯示拘束式鍛粗預形熱鍛製程可縮短製程、提升材料使用率、進而降低成本。

作者:梁志瑄、黃宣諭、蔡明城鋁合金溫間伺服成型運動曲線品質預測與優化

近年來，汽車輕量化技術已成為現代汽車製造的核心研究領域；高強度鋁合金因其低密度、高強度及良好韌性，被廣泛應用於汽車與航太產業。然而，高強度鋁合金在常溫下的成型性較差，易產生回彈或扭曲變形，因此本文針對其溫間伺服成型製程進行沖壓成型優化，以提升成型性能與穩定性。本文採用基礎圓杯引伸成型作為載具，並透過Holding伺服運動曲線參數進行成型，進一步運用ANFIS-MOPSO方法進行品質預測與參數優化。首先，透過測試數據建立最大變薄率與最大沖頭負荷兩項品質特性的ANFIS預測模型，再利用MOPSO方法進行最佳化，並透過實驗驗證其優化結果。為評估優化效果，本文將優化後的Holding伺服曲線與傳統Crank伺服曲線進行比較，結果顯示，最大變薄率降低4.3%，最大沖頭負荷減少6.5%。此研究結果證明，透過ANFIS-MOPSO方法進行多目標優化，可有效平衡最大變薄率與最大沖頭負荷兩項品質特性，使其同時獲得改善，進而提升高強度鋁合金的溫間成型性能，為未來高強度鋁合金在汽車沖壓成型領域的應用提供了重要參考。

作者:李侃峰、盧江溪真空製程設備節能技術

臺灣半導體設備規模逐年擴大，面臨能源短缺議題與節能減碳的推廣，真空製程設備朝向降低能源使用率與提升能源效率等目標製造，因此，逐步運用節能可達20~50%的高效率變頻真空泵，但生產線上仍有許多高耗能的定頻真空泵持續使用，本文回顧常見的真空泵節能技術，並比較其節能效益差異，以作為國內廠商導入真空泵系統節能之參考。

作者:李侃峰、曾奕凱流動化學系統之製程泵浦調控技術

目前化學產業仍以批次生產技術為主，隨微流道與微反應器等技術發展，在有限的封閉環境中實行微流道流動化學連續生產製程，能有效解決現行傳統批次化工常有的反應控制、耗能、工安及環保問題。本文運用「管路控制流量」與「泵浦控制流量」兩種方法，驗證流動化學系統之微流道連續生產製程可行性。

作者:陳邦旭原子層沉積法與原子層蝕刻法在光電半導體之應用

在先進半導體元件、高速運算與通訊、元宇宙、電動車與綠色能源儲能產能各個面向殷切需求下，新的技術，新的製程提供新的材料與架構，其中具有原子單層與區域控制能力的原子層沉積法與原子層蝕刻法受到廣泛的注意。本文將介紹原子層沉積法與原子層蝕刻法機制，並介紹目前主要原子層沉積法與原子層蝕刻法的相關製程設備，另概述原子層沉積法在光電半導體中之應用，以及原子層蝕刻法在不同基板應用，最後討論有關於此兩項技術的未來發展與挑戰。